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OTL1200三溫區(qū)可調(diào)真空CVD系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng),，最高溫度可以達到1200度、1400度,、1600度,、1700度，加熱區(qū)間可以是單溫區(qū),、雙溫區(qū),、三溫區(qū)等，極限真空可以達到10-3Pa,，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計或浮子流量計,，混氣路數(shù)可以是2路、3路,、4路、5路相混合,。  CVD系統(tǒng)是由4路供氣系統(tǒng)+OTL1200-1200-1200三溫區(qū)管式爐+可調(diào)真空系統(tǒng)組成,。

OTL1200三溫區(qū)可調(diào)真空CVD系統(tǒng)以進口電阻絲瑞典（Canthal）為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表,，能進行30段程序控溫,，移相觸發(fā)、可控硅控制,，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,，具有溫場均衡、表面溫度低,、升降溫度速率快,、節(jié)能等優(yōu)點，是高校,、科研院所,、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實驗,、真空退火用的理想產(chǎn)品.,。

軟件控制系統(tǒng)：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù),，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來,，隨時可以調(diào)出,。（選配）

(1)、表面溫度高可達1420℃

(2),、表面為不銹鋼色（非常亮,、客戶識別時要注意）、不會生銹,，使用時間再長都不會掉渣,。

(3)、Kanthal電阻絲資料下載

(4),、Kanthal電阻絲網(wǎng)站

(5),、電阻均衡、溫場均衡性好

當(dāng)電路過流或漏電時,，空開會自動斷開,。

該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù),，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來,，隨時可以調(diào)出

1,、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。

2,、采用日本技術(shù)成型,。

3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本*的熱工技術(shù)布置,、經(jīng)過熱工軟件模擬溫場

4,、采用4周加熱，溫場更加均衡