CVD管式爐使用注意事項(xiàng)說(shuō)明
1. 冷爐使用時(shí),,由于管式爐膛是冷的,,須大量吸熱,,所以低溫段升溫速率不易過(guò)快,,各溫度段的升溫速率差別不易太大,,設(shè)置升溫速率時(shí)應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì),以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,,污染爐管,。爐膛的溫度大于等于200攝氏度是,禁止打開(kāi)爐膛,,避免受到傷害,。
2. 定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好,應(yīng)特別注意加熱元件的各連接點(diǎn)的連接是否緊固,,避免出現(xiàn)電路故障,。
3.CVD管式爐使用或長(zhǎng)時(shí)間不用后,,要在120℃左右烘烤1小時(shí),在300℃左右烘烤2小時(shí)后使用,,以免造成爐膛開(kāi)裂,。爐溫盡量不要超過(guò)額定溫度,以免損壞加熱元件及爐體,。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,,保持爐內(nèi)的清潔。
4.設(shè)備使用時(shí),,爐管內(nèi)的壓力不得超過(guò)0.02MPa以防止壓力過(guò)大造成設(shè)備損壞,;當(dāng)爐體的溫度高于1000攝氏度時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),,爐管內(nèi)需是常壓常壓狀態(tài),,與大氣壓基本保持一致;在對(duì)樣品加熱時(shí),,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥,、進(jìn)氣閥。若要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的顯示值,,絕對(duì)壓力表讀書(shū)不要大于0.02MPa必須立刻打開(kāi)排氣閥門(mén),以防發(fā)生意外,。
5. 爐膛若采用石英管,,當(dāng)溫度高于1000℃時(shí),石英管的高溫部分會(huì)出現(xiàn)不透明現(xiàn)象,,這叫失透是石英管的一個(gè)固有缺陷,屬正?,F(xiàn)象,。