CXF-200/1401

產(chǎn)品特點：

節(jié)能：無摩擦,，避免摩擦熱損耗,、較其它類型產(chǎn)品能耗降低30％

高效：更長的連續(xù)工作時間、高氣流量和高抽速

靈活：緊湊型結構,，滿足更小的物理空間需求,、任意角度安裝，適合各種設計需求,、豐富擴展功能,，滿足客戶定制化需求

應用領域：

科研、加速器,、碳化硅,、晶體晶振,、光伏、Low-E玻璃鍍膜,、ITO鍍膜,、光學鍍膜、裝飾鍍膜,、平板顯示,、真空爐

電真空、新能源,、新材料,、真空干燥、低溫制冷,、薄膜沉積,、刻蝕、離子注入,、光刻,、電子器件

技術參數(shù)：

進氣口法蘭：DN200 ISO F（標配）  DN200 CF(可選)   DN200 LF(可定制)

排氣口法蘭：KF40

抽速速率(L/S)：N₂:1280   Ar:1100    He:880    H₂:560

壓縮比：N2:＞1E8    Ar:＞1E8    He:＞1E4    H2:＞1E3

極限壓強（Pa）：1E-7（橡膠密封）   1E-8（金屬密封）  

最大瞬時入口流量（sccm）：1100

保護氣入口法蘭（選配）：KF10

推薦保護氣體流量:20

最大允許磁場強度:  徑向：3  軸向：15

額定轉速（rpm）:30000

啟動時間（min）:≤6

停機時間（min）：≤8

冷卻方式：水冷

冷卻水流量（L/min）：2

推薦冷卻水溫度（℃）：20±5

電源電壓（V AC）： 220±10％，50Hz          110±10％,，60Hz

適配電源型號：CXFD-1001

建議前級泵： ≥16

重量（kg）：51

產(chǎn)品尺寸圖：