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ULVA低溫泵
CRYO-U 系列
CRYO-U10HSP
ULVAC CRYOGENICS
CRYO-U系列,，是使用了2段式GM冷凍機(jī)的能夠制造出高真空的低溫泵系列,。根據(jù)FPD,、半導(dǎo)體,、電子機(jī)器、光學(xué),、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同,，從小型到大型有的產(chǎn)品陣容供您選擇。
特點(diǎn)
適合濺射應(yīng)用,。
氬氣容量是現(xiàn)有型號(hào)（U10H）的2倍,。
再生時(shí)間間隔延長(zhǎng)意味著更高的可用性。
可以進(jìn)行多個(gè)連接
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
ULVAC愛發(fā)科低溫泵
CRYO-U 系列
CRYO-U10HSP
ULVAC CRYOGENICS
CRYO-U系列,，是使用了2段式GM冷凍機(jī)的能夠制造出高真空的低溫泵系列,。根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機(jī)器,、光學(xué),、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同，從小型到大型有的產(chǎn)品陣容供您選擇,。
特點(diǎn)
適合濺射應(yīng)用,。
氬氣容量是現(xiàn)有型號(hào)（U10H）的2倍。
再生時(shí)間間隔延長(zhǎng)意味著更高的可用性,。
可以進(jìn)行多個(gè)連接（多3個(gè)）,。
新款ULVAC愛發(fā)科 標(biāo)準(zhǔn)低溫泵壓縮機(jī)單元
新款ULVAC愛發(fā)科 標(biāo)準(zhǔn)低溫泵壓縮機(jī)單元
使用 安裝組件可無(wú)需支架直接搭載
標(biāo)配熱傳感器
熱傳感器可以監(jiān)測(cè)真空泵溫度的異常上升，通知油量的減少和泵的異常,。
內(nèi)置油霧過(guò)濾器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）減少油的更換頻率,。 油箱內(nèi)置方便更換的盒式濾芯。
被油霧過(guò)濾器回收的油會(huì)自動(dòng)回到泵內(nèi),。 油凈化裝置去除混入的雜質(zhì),。
特點(diǎn)
安裝方向自由
安裝方向沒(méi)有限制，擴(kuò)展了設(shè)備設(shè)計(jì)的自由度,。
搭載控制器
控制器安裝在主體上,，有效地減少了布線并減小了排氣系統(tǒng)的尺寸。
高壓縮比?高排氣圧力
高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實(shí)現(xiàn)小型化,。
三種法蘭可供選擇
VG,、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇,。
清潔真空
在運(yùn)行時(shí)以及泵停止時(shí),，碳?xì)浠衔锏幕亓骱苌佟?/p>
用途
分析設(shè)備、研究開發(fā)設(shè)備,、實(shí)驗(yàn)設(shè)備等的主排氣系統(tǒng)
蒸發(fā)設(shè)備,、濺射設(shè)備等著排氣系統(tǒng)
H2、He等輕氣體主排氣系統(tǒng)
用于使低溫泵運(yùn)轉(zhuǎn),。將壓縮后的氦氣送出冷凍機(jī),，冷卻從冷凍機(jī)回來(lái)的高溫氦氣，使之循環(huán),。
ULVAC愛發(fā)科低溫泵型號(hào)：
