隨著精密,、超精密加工技術(shù)的發(fā)展,，材料在納米尺度下的力學(xué)特性引起了人們的極大關(guān)注研究。而傳統(tǒng)的硬度測(cè)量方法只適于宏觀條件下的研究和應(yīng)用,，無(wú)法用于測(cè)量壓痕深度為納米級(jí)或亞微米級(jí)的硬度(即所謂納米硬度),。
近年來(lái)，測(cè)量納米硬度一般采用新興的納米壓痕技術(shù)(nano-indentation),，由于采用納米壓痕技術(shù)可以在極小的尺寸范圍內(nèi)測(cè)試材料的力學(xué)性能,，除了塑性性質(zhì)外，還可反映材料的彈性性質(zhì),，因此得到了越來(lái)越廣泛的應(yīng)用,。
納米壓痕技術(shù)也稱(chēng)深度敏感壓痕技術(shù)（Depth-Sensing Indentation，DSI),，是的測(cè)試材料力學(xué)性質(zhì)的方法之一,，可以在納米尺度上測(cè)量材料的各種力學(xué)性質(zhì)，如載荷-位移曲線(xiàn),、彈性模量,、硬度、斷裂韌性,、應(yīng)變硬化效應(yīng),、粘彈性或蠕變行為等。
納米壓痕理論
圖1為納米壓痕試驗(yàn)中典型的載荷-位移曲線(xiàn),。在加載過(guò)程中試樣表面首先發(fā)生的是彈性變形,，隨著載荷進(jìn)一步提高，塑性變形開(kāi)始出現(xiàn)并逐步增大,；卸載過(guò)程主要是彈性變形恢復(fù)的過(guò)程,，而塑性變形最終使得樣品表面形成了壓痕。圖中Pmax為最大載荷,，hmax為最大位移,，hf為卸載后的位移，S為卸載曲線(xiàn)初期的斜率,。納米硬度的計(jì)算仍采用傳統(tǒng)的硬度公式H=P/A,。式中，H為硬度(GPa),；P為最大載荷(μN),，即上文中的P max,；A為壓痕面積的投影(nm2)。
1納米壓痕試驗(yàn)的典型載荷-位移曲線(xiàn)
但與傳統(tǒng)硬度計(jì)算不同的是,，A值不是由壓痕照片得到,，而是根據(jù)“接觸深度”hc(nm)計(jì)算得到的。具體關(guān)系式需通過(guò)試驗(yàn)來(lái)確定,，根據(jù)壓頭形狀的不同,，一般采用多項(xiàng)式擬合的方法，比如針對(duì)三角錐形壓頭,，其擬合結(jié)果為：
A=24.5+793hc+4238+332+0.059+0.069+8.68+35.4+36.9
式中“接觸深度”hc由下式計(jì)算得出：hc=h-εP max/S,，式中，ε是與壓頭形狀有關(guān)的常數(shù),，對(duì)于球形或三角錐形壓頭可以取ε=0.75,。而S的值可以通過(guò)對(duì)載荷-位移曲線(xiàn)的卸載部分進(jìn)行擬合，再對(duì)擬合函數(shù)求導(dǎo)得出,，即,，式中Q為擬合函數(shù)。
這樣通過(guò)試驗(yàn)得到載荷-位移曲線(xiàn),，測(cè)量和計(jì)算試驗(yàn)過(guò)程中的載荷P,、壓痕深度h和卸載曲線(xiàn)初期的斜率S，就可以得到樣品的硬度值,。該技術(shù)通過(guò)記錄連續(xù)的載荷-位移,、加卸載曲線(xiàn)，可以獲得材料的硬度,、彈性模量,、屈服應(yīng)力等指標(biāo)，它克服了傳統(tǒng)壓痕測(cè)量只適用于較大尺寸試樣以及只能獲得材料的塑性性質(zhì)等缺陷,，同時(shí)也提高了硬度的檢測(cè)精度,，使得邊加載邊測(cè)量成為可能，為檢測(cè)過(guò)程的自動(dòng)化和數(shù)字化創(chuàng)造了條件,。
納米壓痕儀簡(jiǎn)介
近年來(lái),，國(guó)內(nèi)外研究人員以納米壓痕技術(shù)為基礎(chǔ)，開(kāi)發(fā)出多種納米壓痕儀,，并實(shí)現(xiàn)了商品化，為材料的納米力學(xué)性能檢測(cè)提供了高效,、便捷的手段,。
納米壓痕儀主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測(cè)試，測(cè)試結(jié)果通過(guò)力與壓入深度的曲線(xiàn)計(jì)算得出,，無(wú)需通過(guò)顯微鏡觀察壓痕面積,。
納米壓痕儀的基本組成可以分為控制系統(tǒng),、移動(dòng)線(xiàn)圈系統(tǒng)、加載系統(tǒng)及壓頭等幾個(gè)部分,。壓頭一般使用金剛石壓頭,，分為三角錐或四棱錐等類(lèi)型。試驗(yàn)時(shí),，首先輸入初始參數(shù),，之后的檢測(cè)過(guò)程則由微機(jī)自動(dòng)控制，通過(guò)改變移動(dòng)線(xiàn)圈系統(tǒng)中的電流,，可以操縱加載系統(tǒng)和壓頭的動(dòng)作,，壓頭壓入載荷的測(cè)量和控制通過(guò)應(yīng)變儀來(lái)完成，同時(shí)應(yīng)變儀還將信號(hào)反饋到移動(dòng)線(xiàn)圈系統(tǒng)以實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制,，從而按照輸入?yún)?shù)的設(shè)置完成試驗(yàn),。
2 Nano Indenter XP納米硬度儀外觀
納米壓痕儀的技術(shù)參數(shù)
最大加載載荷：400mN
載荷分辨率：30nN
可實(shí)現(xiàn)的最小載荷：1.5μN
位移分辨率：0.003nm
可實(shí)現(xiàn)的自小位移：0.04nm
可實(shí)現(xiàn)的最大位移：250μm
納米壓痕試驗(yàn)舉例
試驗(yàn)材料取單晶鋁，試驗(yàn)在美國(guó)MTS公司生產(chǎn)的Nano Indenter XP型納米硬度儀以及美國(guó)Digital Instruments公司生產(chǎn)的原子力顯微鏡(AFM)上進(jìn)行,。
首先將試樣放到納米硬度儀上進(jìn)行壓痕試驗(yàn),，根據(jù)設(shè)置的最大載荷或者壓痕深度的不同，試驗(yàn)時(shí)間從數(shù)十分鐘到若干小時(shí)不等,，中間過(guò)程不需人工干預(yù),。試驗(yàn)結(jié)束后，納米壓痕儀自動(dòng)計(jì)算出試樣的納米硬度值和相關(guān)重要性能指標(biāo),。
本試驗(yàn)中對(duì)單晶鋁(110)面進(jìn)行檢測(cè),，設(shè)置壓痕深度為1.5μm，共測(cè)量三點(diǎn),，最終結(jié)果取三點(diǎn)的平均值,。表1為最大壓痕深度1.5μm時(shí)的試驗(yàn)結(jié)果，其中納米硬度平均值為0.46GPa,，而用傳統(tǒng)硬度計(jì)算方法得到的硬度平均值為0.580GPa,，這說(shuō)明傳統(tǒng)硬度計(jì)算方法在微納米硬度測(cè)量時(shí)誤差較大，其原因就是在微納米硬度測(cè)量時(shí),，材料變形的彈性恢復(fù)造成殘余壓痕面積較小,，傳統(tǒng)方法使得計(jì)算結(jié)果產(chǎn)生了偏差，不能正確反映材料的硬度值,。
通過(guò)對(duì)不同載荷下的納米硬度測(cè)量值進(jìn)行比較發(fā)現(xiàn),，單晶鋁的納米硬度值并不是恒定的，而是在一定范圍內(nèi)隨著載荷（壓頭位移）的降低而逐漸增大,，也就是存在壓痕尺寸效應(yīng)現(xiàn)象,。
3納米硬度隨壓痕深度的變化
圖4是最大壓痕深度1μm時(shí)單晶鋁彈性模量與壓痕深度的關(guān)系。此外，納米硬度儀還可以輸出接觸剛,、實(shí)時(shí)載荷等隨壓頭位移的變化曲線(xiàn),，試驗(yàn)者可以從中獲得豐富的信息。
4壓深1μm時(shí)彈性模量與壓痕深度的關(guān)系
納米壓痕儀的應(yīng)用
納米壓痕儀可適用于有機(jī)或無(wú)機(jī),、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測(cè)分析,，包括PVD、CVD,、PECVD薄膜,，感光薄膜，彩繪釉漆,，光學(xué)薄膜,，微電子鍍膜，保護(hù)性薄膜,，裝飾性薄膜等等,。基體可以為軟質(zhì)或硬質(zhì)材料,，包括金屬,、合金、半導(dǎo)體,、玻璃,、礦物和有機(jī)材料等。
半導(dǎo)體技術(shù)(鈍化層,、鍍金屬,、Bond Pads)；存儲(chǔ)材料(磁盤(pán)的保護(hù)層,、磁盤(pán)基底上的磁性涂層,、CD的保護(hù)層)；光學(xué)組件(接觸鏡頭,、光纖,、光學(xué)刮擦保護(hù)層)；金屬蒸鍍層,；防磨損涂層(TiN,，TiC，DLC,，切割工具),；藥理學(xué)(藥片、植入材料,、生物組織),；工程學(xué)(油漆涂料,、橡膠、觸摸屏,、MEMS)等行業(yè)。
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