三維納米定位臺(tái)是一個(gè)壓電掃描柔性引導(dǎo)平臺(tái),，例如：該平臺(tái)集成英國(guó)真尚有高精密的電容位移傳感器,，對(duì)其行程進(jìn)行了反饋，形成閉環(huán)系統(tǒng),?？梢宰鳛橐粋€(gè)參考面可以集成其它維度的平臺(tái)，從而實(shí)現(xiàn)三維位置控制,。
壓電納米定位臺(tái)具有移動(dòng)面,，是通過(guò)帶有柔性鉸鏈的機(jī)械結(jié)構(gòu)將壓電陶瓷產(chǎn)生的位移及出力等進(jìn)行輸出，分直驅(qū)與放大兩種結(jié)構(gòu),。以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)源,，結(jié)合柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)X軸、Z軸,、XY軸,、XZ軸、XYZ軸精密運(yùn)動(dòng)的壓電平臺(tái),，驅(qū)動(dòng)形式包含壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)式,、放大機(jī)構(gòu)式,。運(yùn)動(dòng)范圍可達(dá)500μm，具有體積小,、無(wú)摩擦,、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，配置高精度傳感器,，可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率及定位精度且具有較高的可靠性,，在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著主要作用。
三維納米定位臺(tái)內(nèi)部采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),，一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),。機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動(dòng)原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷,，可實(shí)現(xiàn)100μm位移,。閉環(huán)版本定位精度可達(dá)納米級(jí)。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，具有高剛性,、高負(fù)載,、無(wú)摩擦等特點(diǎn)。納米定位臺(tái)的驅(qū)動(dòng)形式包含壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)式,、放大機(jī)構(gòu)式,。1-3維運(yùn)動(dòng)，行程范圍最大可達(dá)1.1mm,，具有體積小,、無(wú)摩擦、響應(yīng)速度快等特點(diǎn),，可以選擇配置高精度電容,、電感、電阻應(yīng)變計(jì)傳感器實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率及定位精度且具有的可靠性,。壓電納米定位臺(tái)在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用,。
三維納米定位臺(tái)產(chǎn)品屬于高精密儀器，對(duì)于安裝與使用有著非常嚴(yán)格的要求,，以保證其長(zhǎng)期使用的可靠性與穩(wěn)定性,。
此外，壓電納米定位臺(tái)還可用于：
光路調(diào)整,；
納米操控技術(shù),；
納米光刻，生物科技,；
激光干涉,；
CCD圖像處理,；
納米測(cè)量、顯微操作,；
納米壓印,、納米定位；
顯微成像,，共焦顯微,。
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