薄膜壓力傳感器是一款在柔韌、極薄,、輕型的薄膜材料上構(gòu)筑有電阻低的導(dǎo)電電極并印刷附著力強(qiáng),、耐彎折、靈敏度高的柔性納米功能材料,，使其實(shí)現(xiàn)對(duì)高靈敏度壓力檢測(cè)的電阻式薄膜傳感器,。
薄膜壓力傳感器在測(cè)量過程中，壓力直接作用在傳感器的膜片上,，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,，使傳感器的電阻發(fā)生變化，同時(shí)通過電子線路檢測(cè)這一變化,，并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這個(gè)壓力的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào),，這樣的過程就是薄膜壓力傳感器進(jìn)行測(cè)量的過程,。
薄膜壓力傳感器是利用現(xiàn)代薄膜制備技術(shù)，在金屬彈性基體上沉積薄膜應(yīng)變電阻,，因其具有精度高,、蠕變性好、抗干擾力強(qiáng)等性能,，目前已被廣泛的運(yùn)用在航空航天,、機(jī)械制造、土木采礦等相關(guān)領(lǐng)域的壓力測(cè)量,。薄膜壓力傳感器厚度低至幾百納米到幾十微米,，可直接在被測(cè)零件表面制膜而不影響設(shè)備內(nèi)部環(huán)境，制作簡(jiǎn)單,，有利于實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)/感知一體化制造,。
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