您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)
薄膜測厚儀的常用測量方法
閱讀：396 發(fā)布時間：2024-2-23
薄膜測厚儀是一種用于測量薄膜厚度的設(shè)備,。常用的測量方法包括以下幾種：
散射光法：通過照射樣品表面并測量散射光的強(qiáng)度來確定薄膜厚度。該方法適用于有透明基底且不吸收或吸收很少光線的薄膜,。
反射光法：通過照射樣品表面,，然后測量反射光波長和強(qiáng)度的變化來計算出薄膜厚度。該方法適用于有較高反射率差異而又能接觸到背景襯底的樣品,。
橢圓偏振法：利用入射橢圓偏振態(tài)與反射,、透過樣品后形成新的橢圓偏振態(tài)之間關(guān)系，結(jié)合模型擬合分析得到樣品層析物質(zhì)和厚度信息,。
插電極法：通過在已知介電常數(shù)材料（如SiO2）上施加交變電場,，并測量其帶電容性質(zhì)，進(jìn)而推斷出待測試材料的等效介電常數(shù)和厚度,。
X-射線熒光法：使用X射線照射樣品,，然后測量熒光輻射的特性（如能譜和強(qiáng)度）來確定薄膜厚度。該方法適用于有較高原子序數(shù)的材料,。
這些方法各有優(yōu)缺點(diǎn)，適用于不同類型和特征的薄膜,。具體選擇哪種測量方法應(yīng)根據(jù)實(shí)際需求,、樣品特性和儀器設(shè)備的可用性進(jìn)行決定。在進(jìn)行測量前,，請確保了解并遵守所使用設(shè)備的操作說明,，并按照相關(guān)安全規(guī)程執(zhí)行。