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結(jié)構(gòu)組成：

1.真空系統(tǒng)

成像系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)均內(nèi)置于真空柱中。真空柱的底部是密封室,，也就是放置樣品的地方,。

之所以采用真空，主要基于以下兩個原因：

電子束系統(tǒng)中的燈絲在普通大氣中會很快氧化失效,，所以使用SEM時除了真空外,，通常還需要用純氮氣或惰性氣體充滿整個真空柱。

為了增加電子的平均自由程,，使更多的電子用于成像,。

2. 電子束系統(tǒng)

電子束系統(tǒng)由電子槍和電磁透鏡組成。主要用于產(chǎn)生能量分布很窄且具有一定電子能量的電子束,，用于掃描成像,。

3.電子槍

電子槍是用來產(chǎn)生電子的，主要有兩種,，一共三種,。

4.電磁透鏡

熱發(fā)射電子需要電磁透鏡才能形成光束,，因此電磁透鏡對于使用熱發(fā)射電子槍的SEM來說是不可少的。通常組裝兩個組：

會聚透鏡：顧名思義,，會聚透鏡使用會聚電子束,，組裝在真空柱中，位于電子槍下方,。通常不止一個，并且有一組會聚光圈與之匹配,。 但是,，會聚透鏡僅用于會聚電子束，與成像焦點無關(guān),。

物鏡：物鏡是真空柱底部的電磁透鏡,，負責(zé)將電子束的焦點會聚到樣品表面。