為提高掃描電鏡圖像的分辨力,，常采用的途徑和方式有下列幾種。 ?。?）在物鏡的極靴附近加設(shè)一個特殊的附加靜電裝置（ElectrostaticsServes）,，用來同時匯集一次電子并提取二次電子，再加上物鏡頂部環(huán)形探測器接收的面積大,，靈敏度高,，在短工作距離下能明顯改善圖像的信噪比和提高分辨力。
?。?）采用透鏡內(nèi)（In-lens）探測器或安裝在物鏡上方的探測器（TLD-SED）,，都能明顯改善低加速電壓和短工作距離時的圖像信噪比和分辨力。在WD較小時,，不僅可以減小物鏡球差和消除傳統(tǒng)E-T探測器前端柵網(wǎng)上加速電位帶來的影響,，而且它接收到的幾乎都是在入射束照射下直接產(chǎn)生的二次電子，排除了背散射電子等其他信號所產(chǎn)生的次生或間接的二次電子,，因而有助于提高圖像分辨力,。
（3）利用高亮度的場發(fā)射電子槍來作電子源的陰極以提高束流密度，從而提高亮度,。
?。?）縮短工作距離，既可以相對增大信號量,、提高信噪比,，又可以減小像差，也就是把試樣盡量移近物鏡極靴,，這類似于光學(xué)顯微鏡中的短焦距“浸沒透鏡”方式,。物鏡的極靴區(qū)是獲得高分辨圖像的有效部位但由于該處的空間很小，一般只有毫米級的試樣才能進得去,，而且試樣的移動范圍很小,，操作起來要格外小心，否則容易“四處碰壁”,。這種模式由于焦距短,，束斑受外界的影響小，像差也小,，且能進入到該區(qū)域的試樣座也要小,，小樣品臺的穩(wěn)定性相對會比較好，所以在該區(qū)域拍攝的照片,，其圖像分辨力能得到明顯提高,。
（5）使用強磁透鏡,，這是在透射電鏡中裝上附加的掃描附件,，使試樣發(fā)出的二次電子在強磁場中被檢測、收集成像,，即利用透射電鏡的掃描附件做出掃描電鏡才能完成的二次電子像,，而且這種二次電子像的分辨力往往優(yōu)于同類電子槍的專業(yè)掃描電鏡。
4
立即詢價
您提交后，專屬客服將第一時間為您服務(wù)