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安捷倫科技(中國)有限公司

材料-制造-封裝 | 安捷倫推出全半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈解決方案

時間:2022-9-1 閱讀:1063
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半導(dǎo)體是現(xiàn)代電子產(chǎn)品的核心,應(yīng)用于從智能手機到汽車等眾多領(lǐng)域。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展,各種器件變得更小,、更快,、更可靠、更強大,。為解決高昂的成本問題,,半導(dǎo)體制造過程中的產(chǎn)品良率是半導(dǎo)體廠商關(guān)注的問題。影響產(chǎn)品良率的因素有很多,,污染無疑是其中的重要因素之一,。業(yè)內(nèi)人士估計,污染造成約  50%  的產(chǎn)量損失,。


從上世紀(jì) 70 年代到今天,,芯片制程已經(jīng)從“微米"時代,經(jīng)過“納米"時代,,發(fā)展到當(dāng)前的 10 納米以下,。隨著元件縮小到單個納米尺度,污染物和雜質(zhì)的控制變得越來越重要,,因為即使是超痕量污染物也會降低制造產(chǎn)量,,導(dǎo)致產(chǎn)品可靠性下降或產(chǎn)品故障。半導(dǎo)體和電子產(chǎn)品中的雜質(zhì)分析必須貫穿整個制造過程的各個階段,,從測試晶片,、原材料和工藝化學(xué)品到終產(chǎn)品的質(zhì)量保證 / 質(zhì)量控制。另外,,在半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈的裝置制造,、傳感器制造、控制器件制造過程等先進制造環(huán)節(jié),,真空的控制也至關(guān)重要,。


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自 20 世紀(jì) 80 年代后期以來,,安捷倫一直與領(lǐng)先于行業(yè)的半導(dǎo)體制造商和化學(xué)品供應(yīng)商密切合作,開發(fā)適用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的分析和監(jiān)測技術(shù),,應(yīng)對半導(dǎo)體行業(yè)的分析挑戰(zhàn),,并始終處于創(chuàng)新前沿。作為全球半導(dǎo)體領(lǐng)域的先鋒,,安捷倫積累了大量創(chuàng)新技術(shù)和卓越的服務(wù)能力,。在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的制程監(jiān)測、原材料質(zhì)控,、無機雜質(zhì),、納米顆粒、有機雜質(zhì)檢測,、符合環(huán)境健康和安全法規(guī)需求以及真空檢漏等方面,,都能夠為您提供優(yōu)異的分析儀器、軟件,、服務(wù)和支持,,助力您取得成功。



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ICP-MS 作為一種金屬元素分析儀器應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈,,始于 20 世紀(jì) 80 年代,。隨著半導(dǎo)體制程的不斷迭代,整個行業(yè)對 ICP-MS 的性能提出了越來越高的要求,。過去 30 年來,,位于日本東京的安捷倫 ICP-MS 全球研發(fā)中心與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈端客戶密切合作,引領(lǐng)著 ICP-MS 在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中的應(yīng)用不斷創(chuàng)新,。

監(jiān)測清洗和蝕刻硅片過程中使用的化學(xué)品中的痕量污染物

監(jiān)測晶圓 /IC 制造過程中使用的化學(xué)品中的污染物

評估硅片襯底及用于硅的相關(guān)層和涂層中的金屬污染

化學(xué)品以及晶圓加工和清潔浴槽中的金屬納米顆粒 (NP) 分析

半導(dǎo)體供應(yīng)鏈中電子化學(xué)品 / 特氣中的金屬污染物

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晶圓表面有機污染物分析

高純化學(xué)品及純水中有機雜質(zhì)分析

清洗劑 / 剝離液 / 電鍍液雜質(zhì)分析

化學(xué)品中有機物成分分析 / 配方剖析,,如光刻膠、CMP Slurry 配方分析

過濾器等半導(dǎo)體工藝部件的污染物控制

半導(dǎo)體超凈室內(nèi)的揮發(fā)性有機污染物分析

按照法規(guī)要求(例如 RoHS,、REACH 等)測定電子電氣中的有害有機物

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CPU,、RAM 等終端設(shè)備中鍍膜硅片透射 / 散射 / 反射等光學(xué)性能測試

晶圓涂層表面的光學(xué)性能表征,評估涂層均勻性等性能

借助光學(xué)性能測試結(jié)果,,確定并克服涂層工藝中潛在的變異性

使用配備固體自動進樣器的 Agilent Cary 7000 全能型分光光度計 (UMS) 對涂層晶圓的光學(xué)性能進行分析

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服務(wù)于半導(dǎo)體市場以及其上游供應(yīng)商的整個產(chǎn)業(yè)鏈,。提供真空泵(油泵、干泵),、檢漏儀,、真空計、真空管路配件,、閥門等產(chǎn)品,,適用范圍包括 :

半導(dǎo)體制造、封裝設(shè)備,、檢測設(shè)備

晶體生長,、外延設(shè)備

高純氣體管路檢測及安全性保障

傳感器氣密性檢漏

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