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產(chǎn)品型號(hào)

  2英寸高真空磁控濺射頭HVMSS-SPC-2

主要特點(diǎn)

  1,、采用高質(zhì)量的不銹鋼和陶瓷材料制作,。

  2、采用電磁場(chǎng)的有元計(jì)算法來(lái)設(shè)計(jì)永磁體,，以得到較高的磁場(chǎng)強(qiáng)度和均勻分布,。

  3、磁體表面涂有保護(hù)層,，以防止冷卻水的腐蝕,，延長(zhǎng)其使用壽命。

  4,、標(biāo)準(zhǔn)的HN型接頭,，可與DC和RF電源相匹配。

  5,、安裝采用標(biāo)準(zhǔn)真空接頭,，便于操作,。

  6、靶材更換較為簡(jiǎn)單,，無(wú)需調(diào)整濺射頭的高度,。

技術(shù)參數(shù)

  1、陽(yáng)極護(hù)罩直徑：Φ3.5"

  2,、所用靶材：直徑2"（50.8mm）,，非磁性靶zui大厚度1/4"，磁性靶zui大厚度1/16"      

  3,、磁鐵：NdFeB稀土永磁體

  4,、靶材利用率：30%

  5、所需功率：DCzui大1000W,，RFzui大500W

  6,、濺射電流：zui大3A

  7、濺射電壓：100V-1000V

  8,、濺射時(shí)腔體真空度：5mtorr-100mtorr

  9、濺射均勻性曲線：

  10,、水冷卻：水管外徑0.25",，流速0.8GPM，進(jìn)水溫度<20℃                    

產(chǎn)品規(guī)格

可選配件

  1,、循環(huán)水冷機(jī),，流量為16L/min，水箱容積為6L,。

  2,、同時(shí)購(gòu)買(mǎi)300W射頻發(fā)射器和2"磁控濺射頭時(shí)，本司贈(zèng)送1個(gè)高真空快速接頭,。接頭內(nèi)徑為0.75",，可將濺射

 　  頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1",，真空腔體的壁厚不得大于1",。