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產(chǎn)品型號

  100W小型手動匹配型射頻電源RF-100-LD

技術(shù)參數(shù)

  1、電源：AC 110V-240V 50Hz/60Hz

  2,、輸入功率：5W-100W（可調(diào)）,，穩(wěn)定性±1%        

  3、射頻頻率：13.56MHz,，穩(wěn)定性±0.005%

  4,、匹配：手動匹配

  5、冷卻：風(fēng)冷

  6,、噪音：<50dB

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸：390mm×260mm×105mm

可選配件

  1,、1"高真空磁控濺射頭，可自行搭建RF或DC濺射鍍膜儀,。

  2,、同時購買100W射頻發(fā)射器和1"磁控濺射頭時，本司贈送1個高真空快速接頭,。接頭內(nèi)徑為0.75",，可將濺射

 　  頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1",，真空腔體的壁厚不得大于1",。

  3、循環(huán)水冷機,，流量為16L/min,，水箱容積為6L。