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產(chǎn)品型號(hào)

  300W小型自動(dòng)匹配型射頻電源RF-300I-LD

技術(shù)參數(shù)

  1、電源：AC 110V-240V 50Hz/60Hz

  2,、輸入功率：5W-300W（可調(diào)）,，穩(wěn)定性±1%        

  3、射頻頻率：13.56MHz,，穩(wěn)定性±0.005%

  4,、匹配：自動(dòng)匹配，空氣電容

  5,、冷卻：空氣冷卻

  6,、噪音：<50dB

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸：480mm×400mm×140mm

可選配件

  1、2"高真空磁控濺射頭,，可自行搭建RF或DC濺射鍍膜儀,。

  2、同時(shí)購(gòu)買300W射頻發(fā)射器和2"磁控濺射頭時(shí),，本司贈(zèng)送1個(gè)高真空快速接頭,。接頭內(nèi)徑為0.75",，可將濺射

 　頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1",，真空腔體的壁厚不得大于1",。

  3、循環(huán)水冷機(jī),，流量為16L/min,，水箱容積為6L。