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產(chǎn)品型號

  500W直流濺射電源DC-500-LD

技術(shù)參數(shù)

  1,、輸入電壓：AC 220V        

  2、zui大輸出功率：500W

  3,、zui大輸出電壓：DC 600V

  4,、電壓分辨率：DC 1.0V

  5、zui大輸出電流：DC 0.8A

  6,、電流分辨率：1mA

  7,、控制精度：±1%

產(chǎn)品規(guī)格

 尺寸：440mm×160mm×440mm

可選配件

  1、2"高真空磁控濺射頭,，可自行搭建RF或DC濺射鍍膜儀,。

  2、同時購買300W射頻發(fā)射器和2"磁控濺射頭時，本司贈送1個高真空快速接頭,。接頭內(nèi)徑為0.75",，可將濺射

　　頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1",，真空腔體的壁厚不得大于1",。

  3、循環(huán)水冷機(jī),，流量為16L/min,，水箱容積為6L。