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產(chǎn)品型號

　PCE-6V小型等離子清洗機

主要特點

   1,、采用氣體作為清洗介質(zhì),，避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。

   2,、可短時間內(nèi)*清洗掉有機污染物,。

   3、清洗程度可達到分子級,。

   4,、可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。

   5,、清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強粘附性,、相容性和浸潤性，并可消毒和殺菌

         ,。

   6,、樣品臺可選配加熱功能，可加負偏壓,，用以實現(xiàn)離子蝕刻,。

   7、廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué),、電子學(xué),、材料科學(xué)、生命科學(xué),、高分子科學(xué),、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體

         學(xué)等領(lǐng)域,。

技術(shù)參數(shù)

   1,、電壓：AC220V  10A

   2、消耗功率：<500W（包括真空泵）

   3,、RF電源：輸出功率100W,，輸出頻率13.56MHz

   4、腔體：Φ190mm×98mm

   5,、石英管：Φ180mm×55mm,，壁厚7mm

   6、內(nèi)腔：Φ165mm×55mm

   7,、清洗電極：Φ120mm

   8、樣品臺：Φ150mm,，有效尺寸Φ140mm

   9,、樣品臺與電極間距：15mm-50mm可調(diào)

   10、抽氣管：Φ12mm

   11,、極限真空度：0.1Pa

   12,、工作真空度：60Pa-500Pa

   13、氣路數(shù)量：2路（選裝）

   14,、流量控制器數(shù)量：1,、2

   15、流量顯示儀：2通道

   16,、氣路接口：Φ6mm

   17,、加熱樣品臺：Φ140mm，加熱樣品溫度RT-600℃±1℃（選裝）

   18,、冷卻水壓力：0.2KPa-0.4KPa

   19,、工作環(huán)境：溫度5℃-35℃，濕度<80%（相對濕度）不結(jié)露,，海拔高度0-2000m

產(chǎn)品規(guī)格

　尺寸：245mm×235mm×460mm（不含真空泵）,，重量：20kg（不含真空泵）

可選配置

   1、加熱樣品臺

   2,、流量控制器（量程10,、50、100,，zui多可增加2個通道）