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產(chǎn)品型號(hào)

  PCE-8等離子清洗機(jī)

主要特點(diǎn)

  1、采用6″彩色觸摸屏,，可控制射頻功率,、清洗時(shí)間、氣體流量,、真空泵的開啟等,。

  2、內(nèi)部配有0-500mm/min的質(zhì)量流量計(jì),，可以精確地控制進(jìn)氣流量,。

技術(shù)參數(shù)

  1、電源：AC220V

  2,、射頻功率：zui大100W,，可在0-100W間調(diào)節(jié)

  3、真空泵功率：<500W

  4,、總功率：<600W

  5,、射頻：13.56MHz

  6、等離子腔體：高純石英腔體,，外徑 Φ8.5 ",，內(nèi)徑 Φ8.2 "，長(zhǎng)12",，采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行真空密

                                封,，法蘭設(shè)有一個(gè)Φ60mm的觀察窗口

  7、極限真空度：50mtorr

  8,、通入氣體：可通入多種氣體,，如N₂、Ar,、Air,、H₂、O₂和混合氣體等等（根據(jù)材料性質(zhì)所定）

清洗及蝕刻

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸：620mm×450mm×600mm

標(biāo)準(zhǔn)配件

  1,、直連式雙旋真空泵（240L/min）

  2,、KF25波紋管

  3、KF25手動(dòng)擋板閥

可選配件

  1、300W,、600W射頻電源（進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化等實(shí)驗(yàn)）

  2,、2″-6″石英舟（盛放基片）

  3、2-4通道浮子混氣系統(tǒng)

  4,、2-4通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)