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混氣系統(tǒng)2路質(zhì)子GSL-2Z
  • 混氣系統(tǒng)2路質(zhì)子GSL-2Z

貨物所在地:遼寧沈陽市

更新時間:2025-03-04 14:19:56

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混氣系統(tǒng)2路質(zhì)子GSL-2Z是用于控制一種或兩種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐,這種氣體控制系統(tǒng)安裝在移動架內(nèi),,管式爐可以放在移動架上面,,氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié)閥,可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐,,用來研究氣體環(huán)境對材料的影響,,在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科,、化學(xué)工業(yè),、石油工業(yè)、醫(yī)藥,、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用,,廣泛應(yīng)用于電子工藝設(shè)備,如擴(kuò)散,、氧化,、外。

 

產(chǎn)品型號

  混氣系統(tǒng)2路質(zhì)子GSL-2Z

主要特點

  精度高,,運行穩(wěn)定可靠,,工作壓力范圍寬,可在高壓或真空條件下工作,,且操作使用方便,。

技術(shù)參數(shù)

  1、電源:185-245V  50Hz

  2,、zui大輸出功率:18W

  3,、制范圍:控制器1——1-199SCCM、控制器2——1-499SCCM

  4,、zui大壓力:3×106  Pa

  5,、準(zhǔn)確度:±1%FS

  6、線性:±0.5-1.5%

  7,、重復(fù)精度:±0.2%FS

  8,、響應(yīng)時間:氣特性1-4s,電特性10s針閥:316不銹鋼

  9,、工作壓差范圍:0.1-0.5 MPa

  10,、壓力表測量范圍:-0.1-0.15MPa0.01 MPa/grid

  11、混氣罐:Φ80mm×120mm

  12,、截止閥:Φ1/4″,,316不銹鋼針閥

  13、工作溫度:5-45

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸:600mm×600mm×650mm

 

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