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產(chǎn)品型號

　精密液體氣相發(fā)生器

主要特點

   1,、流體和氣體在一個316不銹鋼罐中加熱。

   2,、采用30段程序化控溫,。

   3、氣體流速通過浮子流量計控制,。

   4,、配有壓力表,，可測出液氣混合罐中的氣體壓強(qiáng)。

   5,、配有兩個不銹鋼針閥,，以控制氣體進(jìn)出。

   6,、可與本司所有管式爐和CVD系統(tǒng)相連接,。

   7、已通過CE認(rèn)證,。

技術(shù)參數(shù)

   1,、電源：單相AC208V-240V  50Hz/60Hz

   2、功率：1000W

   3,、蠕動泵：精確度±0.02%FS,，流量0-80ml/min（可調(diào)）

   4、zui高工作溫度：300℃

   5,、控溫精度：±1℃

   6,、浮子流量計：0-2000ml/min（可調(diào)）

   7、出氣口：外徑1/4″

產(chǎn)品規(guī)格

　尺寸：350mm×335mm×300mm,；重量：5kg

  加熱帶（纏繞在外接的管道上,，以保證液體蒸汽在傳輸過程中不會液化。）