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產品型號

  1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV

主要特點

  1,、雙層殼體,，配有風冷系統(tǒng)，殼體溫度<55℃,。

  2,、采用高純氧化鋁纖維，有效減少熱量損失,。

  3,、內爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率和使用壽命,。

  4,、采用PID控制器 ，可以設置30段升降溫程序,。

  5,、已通過CE認證。

技術參數(shù)

  管式爐

  1,、電源：單相AC 208-240V   50/60Hz  6KW

  2,、爐管：高純氧化鋁陶瓷管，外徑Φ100mm,，內徑Φ92mm,，長1000mm

  3、加熱元件：1800℃硅鉬棒8根

  4,、加熱區(qū)域：457mm

  5,、恒溫區(qū)域：150mm

  6、工作溫度：zui高1650℃,，連續(xù)工作1600℃

  7,、zui大升溫速率：≤5℃/min

  8、控溫精度：±1℃

  9,、熱電偶：B型

  10,、不銹鋼真空法蘭：1對

  11、機械壓力表：1個

  12,、針閥：2個

  13,、連接器：KF-25，1個

  14,、抽氣接口：KF-25轉KF-40

  15,、卡套接頭：1/4″

  高真空機組

  1、電源：單相AC208-240V  50/60Hz  100-110W

  2,、真空泵：德國Pfeiffer真空泵

  3,、顯示屏：LCD數(shù)字顯示

  4,、抽氣速率：N₂-33L/s，He-39L/s,，H₂-32L/s

  5,、工作范圍：1000mtorr-10^-7mtorr

  6、極限：10^-8mtorr（無泄漏）

  質量流量混氣系統(tǒng)

  1,、電源：單相AC208-240V  50/60Hz   18W

  2,、功率：18W

   3、混氣箱：Φ80mm×120mm

產品規(guī)格

  尺寸：管式爐550mm×380mm×520mm,，高真空機組600mm×600mm×700mm,，質量流量混氣系統(tǒng)600mm×

              600mm×700mm