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產(chǎn)品型號

  1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV

主要特點

  1、雙層殼體,，配有風(fēng)冷系統(tǒng),，殼體溫度<55℃。

  2,、采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,，有效減少能量損失。

  3,、內(nèi)爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層,，可以提高加熱效率和延長使用壽命。

  4,、采用PID控制器 ,，可以設(shè)置30段升降溫程序,，并設(shè)有過熱和斷偶保護功能。

  5,、已通過CE認證,。

技術(shù)參數(shù)

  管式爐

  1、電源：單相AC 208-240V   50/60Hz  5KW

  2,、爐管：99.8%高純氧化鋁陶瓷管,，外徑Φ80mm，內(nèi)徑Φ72mm,，長1000mm

  3,、加熱元件：1800℃級硅鉬棒8根

  4、加熱區(qū)域：457mm

  5,、恒溫區(qū)域：150mm

  6,、工作溫度：zui高1700℃

  7、zui大升降溫速率：5℃/min

  8,、控溫精度：±1℃

  9,、真空度：5×10^-2 torr

  10、泄漏率：zui大6mtorr/min

  真空系統(tǒng)

  1,、真空泵：雙旋片機械泵

  2、可達真空度：5×10^-2 torr

  3,、法蘭：不銹鋼密封法蘭

  4,、針閥：2個不銹鋼針閥

  5、真空泵接口：KF-25

  6,、軟管接頭：1/4″

  7,、真空顯示計：LED數(shù)字式真空顯示計，測量范圍0.1mtorr-850torr

  浮子流量混氣系統(tǒng)

  1,、浮子流量計：3個,，精確度4%FS

  2、流量計范圍：10-100cc/min,，16-160cc/min,，25-250cc/min

  3、壓力表：1個,，監(jiān)測混合氣體壓力

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸：管式爐550mm×500mm×700mm,，混氣系統(tǒng)600mm×600mm×700mm，真空機組600mm×

             600mm×700mm

  重量：210kg

可選配件

  防腐型數(shù)字真空顯示計