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產(chǎn)品型號

  高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV

主要特點

  1、雙層Al₂O₃纖維鋼構(gòu),，無需水冷或風(fēng)冷,。

  2、內(nèi)爐膛表面涂有進口高溫氧化鋁涂層,，可以提高設(shè)備的加熱效率及延長儀器的使用壽命,。

  3、PID控制器 ,，可以設(shè)置30段升降溫程序,，并設(shè)有過熱保護和斷偶功能。

  4,、已通過CE認證,。

技術(shù)參數(shù)

  1、電源：單相208-240V AC  50/60Hz  10KW

  2,、石英管：外徑Φ110mm,，內(nèi)徑Φ103mm，長380mm

  3,、加熱元件：8根紅外燈管,，燈絲長200mm，絲圈Φ10mm,，燈長300mm

  4,、加熱區(qū)：300mm

  5、工作溫度：zui高溫度1100℃

  6,、控溫精度：±0.5℃

  7,、zui高升溫速度：RT-800℃時為50℃/s，800℃-1000℃時為10℃/s

  8,、溫控儀：可控硅（SCR）PID自動控制

  9,、真空法蘭：不銹鋼，帶有水冷接口和針閥,，雙層高溫O型圈密封,，長時間在>900℃條件下運行必須采用水　 　 　 　 　         冷，循環(huán)水流量為0.5m³/hr

  10,、真空度：10^-2torr（機械泵）,，10^-5torr（分子泵）

  11、質(zhì)量流量計：3個,，MFC1范圍0-100sccm,，MFC2范圍0-200sccm，MFC3范圍0-500sccm,，精度1±%FS

  12,、混氣罐：Φ80mm×120mm

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸：爐體760mm×330mm×530mm，真空混氣系統(tǒng)600mm×600mm×597mm

  重量：爐體45kg,，真空混氣系統(tǒng)75kg