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產(chǎn)品型號

  開啟式單溫區(qū)低真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-F3LV

主要特點(diǎn)

  1、雙層殼體，配有循環(huán)風(fēng)冷系統(tǒng),，殼體溫度<60℃,。

  2、內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層,，可以提高加熱效率，同時延長使用壽命,。

  3,、采用PID控制器 ，可以設(shè)置30段升降溫程序,。

  4,、設(shè)有超溫及斷偶報警功能。

  5,、已通過CE認(rèn)證,。

技術(shù)參數(shù)

  1、電源：AC 220V   50/60Hz  2.5KW

  2,、石英管：外徑Φ80mm,，內(nèi)徑Φ75mm，長1000mm

  3,、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲

  4,、加熱區(qū)域：440mm

  5、恒溫區(qū)域：150mm

  6,、工作溫度：zui高1200℃,，連續(xù)工作1100℃

  7、zui大升降溫速率：20℃/min

  8,、控溫精度：±1℃

  9,、真空度：5.5×10^-3torr（機(jī)械泵），10^-4torr（分子泵）

  10,、泄漏率：<5mtorr/min

  11,、浮子流量計(jì)：3個；10-100ml/min,，16-160ml/min,，25-250ml/min

  12、壓力表：4個

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸：管式爐550mm×380mm×520mm,，混氣系統(tǒng)600mm×600mm×597mm,；重量：60kg