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目錄:沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司>>真空鍍膜機(jī)>>磁控濺射鍍膜>> VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀

VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀
  • VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀
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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
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  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 沈陽市
屬性

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更新時間:2024-03-30 20:13:08瀏覽次數(shù):742評價

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VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀與同類設(shè)備相比,,且具有體積小便于操作的優(yōu)點(diǎn),,且可使用的材料范圍廣,,是一款實(shí)驗室制備各類材料薄膜的理想設(shè)備,。

IMG_256VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀是我公司自主新研制開發(fā)的一款高真空鍍膜設(shè)備,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜,、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜,、介質(zhì)薄膜,、光學(xué)薄膜,、氧化物薄膜,、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等,。雙靶磁控濺射儀配備有兩個靶槍和兩個電源,,一個射頻電源用于非導(dǎo)電材料的濺射鍍膜,一個直流電源用于導(dǎo)電材料的濺射鍍膜,,可選配強(qiáng)磁靶用于鐵磁性材料的濺射鍍膜,。與同類設(shè)備相比,且具有體積小便于操作的優(yōu)點(diǎn),,且可使用的材料范圍廣,,是一款實(shí)驗室制備各類材料薄膜的理想設(shè)備。
IMG_2591,、配置兩個靶槍,,一個配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜,一個配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜,。
2,、可制備多種薄膜,應(yīng)用廣泛,。
3,、體積小,操作簡便,。IMG_261

產(chǎn)品名稱

VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀

產(chǎn)品型號

VTC-600-2HD-1000

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用,。
1,、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)(加注純凈水或者去離子水)
2、電:AC220V 50Hz,,必須有良好接地
3,、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶?6mm雙卡套接頭)及減壓閥
4,、工作臺:尺寸1500mm×600mm×700mm,,承重200kg以上
5,、通風(fēng)裝置:需要

主要參數(shù)

1、輸入電源:220V/50Hz
2,、濺射靶數(shù)量:2
3,、腔體內(nèi)徑:?300mm
4、靶槍冷卻方式:水冷
5,、極限真空度:7.4E-5pa
6,、真空室規(guī)格:Φ300×330 mm
7、真空系統(tǒng):VRD-16機(jī)械泵 FF-100/150渦輪分子泵
8,、恢復(fù)真空:系統(tǒng)從大氣抽至5.0E-3pa≤30 min(系統(tǒng)短時間暴露大氣)
9,、充氣系統(tǒng):2路質(zhì)量流量計(1路氬氣100scc、2路氬氣200scc)特殊氣體可定制
10,、濺射靶規(guī)格:Φ2",,厚度0.1-5mm(因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同)
11、樣品臺:Φ140mm/可旋轉(zhuǎn)(1~20rpm)/可加熱(室溫~1000℃)

產(chǎn)品規(guī)格

主機(jī)尺寸:寬900mm×深650mm×高1100mm


 


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