主要參數(shù) | 旋轉(zhuǎn)主機(jī) 1,、載樣盤(吸盤+卡片):聚丙烯真空吸盤:φ203 mm ,最大吸附基片直徑:φ305 mm 2,、運(yùn)行方式:?jiǎn)畏较蚰鏁r(shí)針運(yùn)行 3,、主軸轉(zhuǎn)速:100-3000rpm 有效 4、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:±2% 5,、擺臂擺動(dòng)角度:0-60° 建議: 8 寸(φ203)設(shè)置角度 45°,、12 寸(φ305)設(shè)置角度 60° 6、擺臂速度:1-20°/s 7,、霧化噴頭:圓柱尖頭:更窄的噴霧直徑~20mm 1 個(gè) 蘑菇頭:更寬的噴霧直徑~40mm 1 個(gè) 8,、超聲波噴頭頻率:40KHz±10%:振幅功率檔位:1、2,、3 檔位可調(diào) 9,、顆粒大小:10-20um 10、流量大?。?.6pl-4ml/min 11,、粘度大?。骸?00cps 12、固體含量:≤10% 13,、流體粘度范圍:1-50mpa.s(cP) 14,、水溶液推薦壓縮空氣范圍:~2psi 15,、超聲功率:200W 16、加熱方式:紅外線加熱燈:輻射烘烤 17,、加熱溫度:RT-50℃ 18,、加熱功率:2KW 19、排風(fēng)口:φ100(可外接:過濾箱體內(nèi)其他氣體) 20,、主機(jī)控制方式:PLC 編程器+觸摸屏+旋鈕無極調(diào)速 21,、主機(jī)總功率:2.5KW 22、主機(jī)供電端口:AC220V 50Hz 16A |
注液泵系統(tǒng) 1,、外形尺寸:250×225×170 mm 2,、注液速度:0.1-45 mm/min 3、微調(diào)速度:0.01-8 mm/ min 4,、注射器直徑:0.04-30 mm 5,、標(biāo)配針管容積:20ml 6、行程設(shè)置范圍:0.001-120 mm 7,、泵功率:≤50W 8,、泵供電端口:DC24V (標(biāo)配“電源適配器"IN:AC100-240V 50/60Hz OUT:DC24V 3.75A) |
注:1、設(shè)備供電為國(guó)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn) AC220V 50Hz 供電,,實(shí)際供電以產(chǎn)品后部標(biāo)牌參數(shù)為準(zhǔn),。 2、注射泵為獨(dú)立供電供電,、參數(shù)獨(dú)立設(shè)置,,與主機(jī)聯(lián)動(dòng)“運(yùn)行"啟動(dòng)。 |
可選配件 | 1,、多路(可加熱)供液系統(tǒng)。 2,、靜音無油空氣壓縮機(jī),。 3、清洗機(jī): (1)等離子清洗機(jī):PCE-6小型等離子清洗機(jī),、PCE-6V小型等離子清洗機(jī) (2)紫外線臭氧清洗機(jī):PCE-22紫外臭氧清洗機(jī) 4,、膜厚儀:TFMS-IV系列緊湊型高精度反射膜厚儀、SGC-10薄膜測(cè)厚儀 | |