目錄:沈陽科晶自動化設備有限公司>>旋轉涂膜機>>旋轉涂膜勻膠機>> VTC-100PAH真空旋轉涂膜機
產地類別 | 國產 |
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產品簡介
VTC-100PAH真空旋轉涂膜機適用于半導體工藝、晶體,、光盤,、制版等表面涂膜制備。VTC-100PAH真空旋轉涂膜機是一款高性能精密勻膠機,,采用了優(yōu)良的設計理念,,配合精密的運動控制系統(tǒng),可以實現高精度,、高均勻度的勻膠操作,。設備腔體采用聚丙烯材質,具有耐熱性,、電絕緣性,、和良好的高耐磨加工性能等特點。本機腔體不可抽真空,,工作時利用真空吸盤及氣路管線與外部真空泵相連,,能很好的將樣件牢固的吸附在載樣盤上,此方式操作簡便,、樣件取放自如,,吸盤真空度可達到﹣0.08MPa。旋轉主軸采用高速直流無刷電機,,噪音低,、振動小、運行更加平穩(wěn),、可靠性高,、適應性強、維修與保養(yǎng)簡單,,電機啟動快速穩(wěn)定,,加速后運行平穩(wěn),可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。VTC-100PAH真空旋轉涂膜機具有操作簡單,、清理方便,,體積小巧等優(yōu)點,主要應用于各大專院校,、科研院所的實驗室中進行薄膜的生成過程,。
技術參數
產品名稱 | VTC-100PAH真空旋轉涂膜機 | ||
產品型號 | VTC-100PAH | ||
安裝使用條件 | 1、溫濕度:10-85%RH (at 25℃ 無凝露) 溫度:0-45℃,。 2,、設備周圍無強烈震源和腐蝕氣體。 水源 無此需求 3,、電源:AC100-240V 50/60Hz 國標三極插座 10A 必須有良好接地 4,、氣源:真空負壓(真空泵):抽氣流量不小于 70L/M 5、工作臺:建議 800X600X700mm 承重 50KG 以上(固體水泥臺為佳) 6,、通風裝置:無特殊要求 | ||
技術參數 | 1、設備供電:DC24V 標配適配器:IN AC100-240V 50/60Hz OUT DC24V 15A 2,、總功率:150W(不含外接真空泵) 3,、主機腔體(材質):聚丙烯+亞格力 4、載樣盤(吸盤):2英寸,、 4英寸各一個 5,、運行程序:包含16個運行階段 6、涂膜轉速:1500-20000rpm有效(遞增量為:100rpm為單位) 7,、增加速率設置范圍:100 rpm/s—6000 rpm/s 8,、減速停車速率范圍:100 rpm/s—3000 rpm/s 9、時間設定范圍:1-99s(設定速度范圍:1500至10000rpm),; 1-60s(設定速度范圍:大于10000至20000rpm) 10,、真空接口:快插接頭,采用φ8 PU管連接 11,、操作控制方式:7寸觸摸屏(人機界面) | ||
產品規(guī)格 | 重量:12kg 外形尺寸:250×340×320mm | ||
備注 | 設備隨機標配“電源適配器",,其規(guī)格參數為:IN:AC100-240V 50/60Hz OUT:DC24V 15A,設備實際供電以產品后部標牌參數為準,。 |
標準配件
序號 | 名稱 | 數量 | 圖片鏈接 |
1 | 真空吸盤(含O型圈)(2英寸和4英寸) | 2個 | ![]() |
2 | 滴液器 | 1個 | ![]() |
3 | 無油真空泵 | 1個 | ![]() |
4 | 適配器24V/15A | 1個 | ![]() |
可選配件
序號 | 名稱 | 功能類別 | 圖片鏈接 |
1 | 其它尺寸的真空吸盤 | (可選) | ![]() |
2 | 國產移液槍 | (可選) | ![]() |
3 | 進口移液槍 | (可選) | ![]() |