目錄:沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司>>薄膜生長(zhǎng)設(shè)備>>薄膜生長(zhǎng)輔助設(shè)備>> VTC-100-SE基本型桌面式噴膠機(jī)
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更新時(shí)間：2019-05-16 16:24:26瀏覽次數(shù)：922評(píng)價(jià)
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VTC-100-SE基本型桌面式噴膠機(jī)是一種滿(mǎn)足半導(dǎo)體TSV,、MEMS,、WLP等工藝制程中異形表面的噴膠作業(yè)設(shè)備。是一種采用高精度微量液體平流傳輸和超聲波霧化震蕩技術(shù)均勻噴涂在一定溫度的物件表面,，多次沉積成均勻涂層膜的納米噴膠設(shè)備,。VTC-100-SE基本型桌面式噴膠機(jī)采用不銹鋼機(jī)身，桌面臺(tái)式設(shè)計(jì),，結(jié)構(gòu)緊湊,，七寸全彩觸屏界面，高精密電缸控制,，整體設(shè)計(jì)布局合理,，簡(jiǎn)單易用。
產(chǎn)品名稱(chēng) | VTC-100-SE基本型桌面式噴膠機(jī) |
主要特點(diǎn) | 1,、可臺(tái)面式操作,，外形尺寸緊湊 2、超聲波霧化或二流體霧化噴嘴可選 3,、底盤(pán)旋轉(zhuǎn)加熱,，XY電缸移動(dòng)式噴膠 4、可處理大基片尺寸為8寸晶圓,，向下兼容 |
技術(shù)參數(shù) | 1,、熱盤(pán)溫控范圍：室溫—150℃，溫度分辨率：0.1℃ 2,、溫度均勻性：小于±1％（工作范圍內(nèi)） 3,、膠體流速范圍：1-20ml/min 4、電缸移動(dòng)速度：1-200㎜/s 5,、電缸定位精度：±0.02㎜ 6,、電缸有效行程：300×300㎜ 7、超聲波霧化粒徑：小于50μm |
產(chǎn)品規(guī)格 | 外形尺寸：928（W）×800（D）×510（H）㎜ |
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