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產(chǎn)品名稱

VTC-200-SE 8寸柜式噴膠機

主要特點

1,、全柜式集成結構，工業(yè)級設計

2,、大適合8寸晶圓,，向下兼容，基片工裝方便更換

3,、XYZ三軸電缸設計,，噴頭高度程序可設置

4、轉(zhuǎn)盤加熱旋轉(zhuǎn)系統(tǒng),，工作區(qū)高熱均勻性

5,、微量平流系統(tǒng)，流速平穩(wěn),，流量精確可調(diào)

6,、采用超聲噴霧系統(tǒng)，霧化顆粒均勻,，功率可調(diào)

7,、帶基片吸附和電動頂針功能，方便上下片和計時功能

8,、帶膠液監(jiān)測功能,，頂部抽風，保證工業(yè)生產(chǎn)需要

9,、七寸全彩觸屏操作,，手動調(diào)試和自動運行兩種操作模式

技術參數(shù)

1、電源：AC220V,，50HZ,，1.5KW

2、工作環(huán)境：濕度：20-90%,，溫度20-30℃

3,、處理Wafer尺寸：200mm以下,，向下兼容

4,、熱盤溫度控制：室溫至200℃,，控溫精度±0.5℃,，工作區(qū)溫度均勻性 小于±1%

5、基片頂升系統(tǒng)：頂升高度0-15mm，高度分辨率0.1mm 膠液流速范圍 1-20ml/min可調(diào)

6、熱盤電機額定轉(zhuǎn)速：1000rpm

7,、XY電缸移動大速度：X軸200mm/s，Y軸200mm/s

8,、XY電缸有效行程：300mm×300mm

9,、超聲波霧化粒徑：30-50μm

10、操作系統(tǒng)：人機互動界面,，PLC控制

11,、噴嘴移動方式：電動機械組合XYZ三軸電缸

產(chǎn)品規(guī)格

1、機器尺寸：1000mm×880mm×1800mm （長×寬×高）

2,、重量：55Kg