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產(chǎn)品型號

小型粉末PVD包覆系統(tǒng)VTC-16PW

產(chǎn)品特點(diǎn)

1,、可對粉體材料進(jìn)行表面包覆：采用磁控濺射,，濺射時(shí)粉體材料在振動樣品臺上翻滾，達(dá)到粉體表面均勻包覆

2,、設(shè)備小巧可在手套箱內(nèi)使用,，可處理樣敏感性材料

技術(shù)參數(shù)

1、輸入電壓：220 VAC 50/60Hz

2,、電源輸出:1600 VDC 250 W

3,、大電流：150 mA .

4、濺射頭：2英寸角度可調(diào)節(jié)濺射頭

5,、振動樣品臺：

樣品臺振動頻率可調(diào)節(jié)：6-33Hz

樣品臺直徑為50mm

建議樣品量: < 500 mg

建議顆粒尺寸: 1 ~ 1000um

石英腔體尺寸：165 mm OD. X 150 mm ID x 250 mm H

6,、真空度：

①1.0E-2 Torr（采用機(jī)械泵），可濺射Au, Ag, Pt, Cu, Mo等靶

② 1.0E-5 Torr（采用分子泵）,，可濺射Al, Mg, Li, Lr, Ti, Zn等易氧化金屬靶大真空度可達(dá)到< 4.0E-6 Torr（分子泵系統(tǒng)抽時(shí)間12小時(shí),，腔體進(jìn)行烘烤）

7、CE認(rèn)證

產(chǎn)品規(guī)格

外形尺寸：長460×寬330×高810mm  凈重：20Kg

注意事項(xiàng)

警告：

1,、濺射頭與高壓電源相連接,，操作時(shí)必須佩帶防護(hù)手套

2、濺射前必須確保靶材,，濺射頭,，基片和樣品臺清潔，需要用砂紙和乙醇來清洗,，Al或是Ni靶每次使用時(shí)都必須清洗和處理

注意：粉末樣品必須干燥和分散