目錄:沈陽科晶自動化設備有限公司>>真空鍍膜機>>磁控濺射鍍膜>> VTC-16-3HD3靶等離子濺射儀
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 化工,地礦,能源,電子,綜合 |
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VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀（直流普通型）,，控制面板采用觸摸屏模式,，基片極限尺寸為2″，放置樣品的直徑為?50mm,，加熱溫度達500℃,。可濺射金,、銀,、銅三種靶材，不可以濺射輕金屬和碳,。本機采用旋轉式樣品臺,，能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜，適用于實驗室制備復膜的樣品,。采用PLC控制面板對設備進行控制,，操作方便直觀。該機設備小巧,，占用實驗室空間少,，操作簡單，應用廣泛,。因此被廣泛應用于各大高校及科研院所的實驗室中,。
1、PLC控制面板,，4.3″觸摸屏,，PID控溫方式。
2,、可控參數(shù)包括真空度,、電流、靶材位置,、基片加熱溫度,。
3、可與真空泵,、不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍連用,。
4、已通過CE認證,。
| 產品名稱 | VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀 | |
| 產品型號 | VTC-16-3HD | |
| 安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下,，溫度25℃±15℃,，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1,、水：不需要 2,、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3,、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上）,，需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥） 4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm,，,承重50kg以上 5,、通風裝置：不需要 | |
| 主要參數(shù) | 1、輸入功率：110V/220V通用 2000W（含真空泵） 2,、輸出功率：1600VDC 50mA（最大電流） 3,、石英罩：?160mm×120mm 4、樣品臺：?50mm（可選購加熱型樣品臺,，最高溫度可到500℃,；最長濺射時間不可超過5min） 5、真空泵：120L/M旋片式真空泵6,、進氣口：裝有精密可調針閥,，以實現(xiàn)方便的調節(jié)進氣量 7、靶材：尺寸直徑?47mm,，厚度0.1mm-3mm,；可濺射Au、Ag,、Pt,、Cr、Ni,， 不可濺射氧化物,、半導體、一些輕金屬,、Al,、Zn、C等,。 | |
| 產品規(guī)格 | 尺寸：360mm×350mm×3600mm,； | |
| 可選擇配件 | 1、KF25真空接口,、卡箍 2,、不銹鋼波紋管（600mm） 3、旋片式真空泵（120L/M） 4,、鉑,、銀,、鋅等各種高純度金屬靶材 5、加熱型樣品臺 | |
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