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產(chǎn)品型號(hào)

    GSL-1100X-SPC-12等離子薄膜濺射儀

主要特點(diǎn)

    1、可以調(diào)節(jié)電流大小,，可設(shè)置濺射時(shí)間。

    2,、已經(jīng)過CE認(rèn)證,。

技術(shù)參數(shù)

    1、輸入電源：208V-240V  50Hz/60Hz

    2,、樣品臺(tái)：Φ60mm,，高度可調(diào)節(jié)

    3、石英腔體：Φ100mm×130mm

    4,、進(jìn)氣口：內(nèi)部裝有閥門,，可以向腔體內(nèi)通入各種氣體

    5、靶材：純度為4N的金靶,，Φ57mm×0.12mm

產(chǎn)品規(guī)格

　尺寸：480mm×320mm×150mm,；重量：20kg

可選配件

    1、Au（Φ57mm×0.12mm,，4N）

    2,、Pt（Φ57mm×0.12mm，4N）

    3,、Ag（Φ57mm×0.5mm,4N）