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產(chǎn)品型號

  1100℃雙管三溫區(qū)管式爐（石墨烯生長）GSL-1100X-III-D11-8

主要特點

  1、雙層殼體,，配有風(fēng)冷系統(tǒng),，殼體溫度<70℃。內(nèi)爐膛采用高純度氧化鋁材料,，可以zui大程度的減少能量的損失

        ,。

  2、采用不銹鋼真空密封法蘭,，使用硅膠密封圈進行密封,。

  3、采用三個PID控制器 ，可以設(shè)置30段升降溫程序,。

  4,、加熱前需將石英管堵放入爐管，防止熱量以熱輻射的形式散失,。

  5,、使用內(nèi)管進行薄膜生長可放置zui大8″的基片。

  6,、已通過CE認(rèn)證,。

技術(shù)參數(shù)

  1、電源：單相AC 220V  50/60Hz   8KW（需50A的空氣開關(guān)）

  2,、石英管：外管外徑Φ279mm,，內(nèi)徑Φ269mm，長1300mm,，兩端打開,，可連接法蘭

                        內(nèi)管外徑Φ216mm，內(nèi)徑Φ206mm,，長750mm,，一端封閉，一端連接氣體出入口

  3,、加熱元件：NiCrAl電阻絲

  4、加熱區(qū)域：長900mm

  5,、溫區(qū)：3個,，各300mm長

  6、恒溫區(qū)域：500mm（三個溫區(qū)設(shè)置一樣的溫度）

  7,、工作溫度：zui高1100℃（<1h）,，連續(xù)工作200℃-1000℃

  8、zui大升降溫速率：10℃/min

  9,、熱電偶：3個,，K型

  10、控溫精度：±1℃

  11,、真空度：10^-2torr（機械泵）

  12,、法蘭：左側(cè)法蘭包括化學(xué)氣相淀積進氣口和冷卻氣體進出口，右側(cè)法蘭設(shè)有KF-40真空接口和真空閥門

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸：不包含真空法蘭1300mm×623mm×940mm,，包含真空法蘭1670mm×623mm×940mm

  重量：200kg

可選配件

  1,、石英管堵

  2、PC控溫軟件

  3,、KF-40轉(zhuǎn)KF-25接頭