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    透射電鏡的樣品制備是一項(xiàng)較復(fù)雜的技術(shù),，它對(duì)能否得到好的ＴＥＭ像或衍射譜是至關(guān)重要的．透射電鏡是利用樣品對(duì)入射電子的散射能力的差異而形成襯度的,。
　　電子束穿透固體樣品的能力主要取決加速電壓，樣品的厚度以及物質(zhì)的原子序數(shù)．一般來說,，加速電壓愈高,，原子序數(shù)愈低，電子束可穿透的樣品厚度就愈大．對(duì)于１００～２００ＫＶ的透射電鏡,，要求樣品的厚度為５０～１００ｎｍ,，做透射電鏡高分辨率，樣品厚度要求約１５ｎｍ（越薄越好）．
　　透射電鏡樣品可分為：粉末樣品,，薄膜樣品,，金屬試樣的表面復(fù)型．不同的樣品有不同的制備手段，下面介紹薄膜樣品的制備：
　　絕大多數(shù)的ＴＥＭ樣品是薄膜樣品,，薄膜樣品可做靜態(tài)觀察,，如金相組織；析出相形態(tài),；分布,，結(jié)構(gòu)及與基體取向關(guān)系,，錯(cuò)位類型，分布,，密度等,；也可以做動(dòng)態(tài)原位觀察，如相變,，形變,，位錯(cuò)運(yùn)動(dòng)及其相互作用．制備薄膜樣品分四個(gè)步驟：
　　ａ,、將樣品用SYJ-150低速金剛石切割機(jī)切成薄片,，厚度１００～3００微米，一般對(duì)韌性材料（如金屬）,，用SYJ-150鋸將樣品用碳化硅鋸片或者剛玉鋸片切割成小于２００微米的薄片,；對(duì)脆性材料（如Ｓｉ，ＧａＡｓ,，Sic,，ＭｇＯ）可以將其用SYJ-150金剛石鋸將其切割成200-300微米厚的薄片。
　?。?、用沈陽科晶設(shè)備制造有限公司生產(chǎn)的園（環(huán)）片取樣機(jī)，截取φ３ｍｍ的圓片,。