氣體質(zhì)量流量控制器是配氣儀中的核心部件,，可提供精確、穩(wěn)定的氣體流量控制,，讓氣體混合,、稀釋更便捷。
易度MC系列質(zhì)量流量控制器（新款EC系列）采用層流壓差式原理,，具有高可靠,、高穩(wěn)定、高精度和高重復(fù)性的優(yōu)勢,，同時在抗過載能力和抗污染能力上表現(xiàn)良好,，助力配氣儀廠商實現(xiàn)更精準(zhǔn)的氣體濃度混合配比。
應(yīng)用要求：
配氣儀的氣體配比通常為100:1等,，常見的有兩路甚至更多,，一般兩路為一路標(biāo)氣，一路稀釋氣體,。要實現(xiàn)精準(zhǔn)配氣,，需要流量控制器在各流量點控制氣體準(zhǔn)確度高，重復(fù)性好,，同時對壓力波動不敏感,。
主要問題：
1、控制穩(wěn)定：配氣儀受前端壓力波動影響大,，影響流量穩(wěn)定性,，要求流量控制器具有高穩(wěn)定性，減少壓力波動影響,；
2,、無漏氣：要求流量控制器內(nèi)置的比例調(diào)節(jié)閥流量為零時，要處于常閉狀態(tài),，閥門不漏氣,，無流量；
3,、抗污染能力：配氣儀介質(zhì)用到腐蝕性氣體,，造成流量控制器流道易堵塞,，堵塞與流道管徑的粗細(xì)直接相關(guān)；
4,、抗過載能力：配氣儀控制氣體從低流量點切換到高流量點時,，受到瞬間大流量沖擊，抗過載能力弱會直接影響流量控制器的使用壽命,。
解決方案：
1,、高穩(wěn)定性：易度流量控制器內(nèi)置高精度壓力、溫度傳感器,可進(jìn)行溫度,、壓力的實時補償,，700ms的快速響應(yīng)時間，快速糾正,、保持氣體控制的流速恒定,，提供穩(wěn)定的氣體流量控制；
2,、無漏氣：易度流量控制器內(nèi)置的比例調(diào)節(jié)閥系自主研發(fā),，結(jié)構(gòu)緊湊，密封性好,，不漏氣,，無流量；
3,、抗污染能力強(qiáng)：易度流量控制器氣體流道為單通道設(shè)計,，流道管徑相對較粗，不易受到氣體的污染,，造成堵塞,；
4、抗過載能力高：易度流量控制器內(nèi)置的壓差傳感器,，可承受50倍及以上的過載流量,，抗過載能力強(qiáng)，解決配氣儀低流量段瞬間過載問題,。
多組分混合標(biāo)準(zhǔn)氣體是環(huán)保行業(yè)實現(xiàn)監(jiān)測設(shè)備多點標(biāo)定的重要工具,，以質(zhì)量流量控制器為配氣部件的動態(tài)校準(zhǔn)儀(或動態(tài)氣體稀釋裝置等)，利用高濃度標(biāo)氣和零氣,，通過對各氣路氣體流量的精確控制,，實現(xiàn)多濃度點氣體的連續(xù)、穩(wěn)定配制,，并以低成本、智能檢測,、自動配氣,、不受使用環(huán)境溫度和壓力影響等優(yōu)勢被廣泛應(yīng)用,。
客戶應(yīng)用背景：作為動態(tài)校準(zhǔn)儀的研發(fā)生產(chǎn)商，對流量控制器的現(xiàn)場表現(xiàn)有多方面的實際需求,。氣體流量控制器的重復(fù)性和可靠性,、微小的漏氣、不同溫度壓力下的精度保持能力等問題,，最終會對客戶造成不同程度的困擾,。提高動態(tài)校準(zhǔn)儀的精度和穩(wěn)定性，減少最終用戶的長期使用和維護(hù)成本,，成為發(fā)展和技術(shù)進(jìn)步的方向,。
關(guān)鍵關(guān)注點：
動態(tài)校準(zhǔn)儀簡化原理框圖（自制圖片，不代表真實原理結(jié)構(gòu)）
? 高重復(fù)性的配氣
? 對溫度和壓力漂移,，環(huán)境適應(yīng)性好
? 對前端壓力波動不敏感
? 寬量程精度保持能力（例如20%~100%或10%~100%量程范圍內(nèi)達(dá)到±1%S.P.）
? 高可靠,，長期精度不漂移，控制穩(wěn)定性好
? 要求對低濃度的NH3/SO2/CO等氣體有較好的抗污染能力
解決方案：
為提高動態(tài)校準(zhǔn)儀連續(xù)穩(wěn)定的輸出濃度,，易度提供了MCF100系列層流壓差式質(zhì)量流量控制器作為標(biāo)準(zhǔn)配氣元件,，選用閥門后置型產(chǎn)品，可監(jiān)測前端氣體壓力,，并選取了幾種不同的量程,，典型氣體流量為100SCCM和10SLPM的質(zhì)量流量控制器，精度為±1.0% S.P.,。
? 內(nèi)置的比例調(diào)節(jié)閥和流量傳感器具有高分辨率和穩(wěn)定性
? 內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器,，具有-20~50℃，0~1MPa的寬環(huán)境適應(yīng)性
? 層流壓差式流量控制器具有極快的反饋控制速度,，對前端壓力不敏感
? 層流壓差式流量控制器具有寬量程精度保持能力的原理性優(yōu)勢
? 層流壓差式原理,，高性能壓力、壓差傳感器和比例閥門是長期可靠性的基石
? 自研的壓力和壓差傳感器對低濃度腐蝕性氣體不敏感,，有較好的抗污染能力
易度流量控制器采用層流壓差式原理,，在氣體流量控制的精度和重復(fù)性上有明顯的優(yōu)勢，100:1的量程比（可定制更高量程比）,，在小流量段也能實現(xiàn)毫秒級快速控制,。比例調(diào)節(jié)閥在設(shè)計中充分考慮密封性和內(nèi)漏問題，將客戶的關(guān)鍵關(guān)注點解決，幫助客戶將動態(tài)配氣儀提升到更高品質(zhì)和更優(yōu)性能,。
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