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氣體質(zhì)量流量控制器-基于層流壓差式的專業(yè)解析

閱讀:198      發(fā)布時間:2025-1-2
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氣體流量控制器(Mass Flow Controller, MFC)是一種用于精確控制氣體流量的關(guān)鍵設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造,、化學(xué)工藝,、生物醫(yī)藥以及環(huán)保等領(lǐng)域。其工作原理和性能表現(xiàn)直接決定了相關(guān)工藝的效率與質(zhì)量,。

易度智能作為國產(chǎn)自研層流原理的MFC制造商,,以其技術(shù)和產(chǎn)品性能成為行業(yè)的獨角獸。小編從專業(yè)視角詳細解析基于層流壓差原理的MFC核心技術(shù),、工作機制及易度智能MFC的產(chǎn)品優(yōu)點,。

1. 層流的基本特性

層流是氣體在低雷諾數(shù)條件下的穩(wěn)定流動狀態(tài),在層流狀態(tài)下,,氣體的流量與壓差成正比,。這一特性為層流壓差式氣體流量控制器的設(shè)計提供了理論基礎(chǔ)。

2. 壓差式測量的實現(xiàn)

層流壓差式MFC通過以下關(guān)鍵組件實現(xiàn)流量測量:

層流元件:精密的機械結(jié)構(gòu)確保氣體在通過時保持層流狀態(tài),。

壓差傳感器:自研高靈敏傳感器實時測量層流元件兩端的壓差值,。

計算方式:測量出壓差后就可以根據(jù)標定數(shù)據(jù)獲得工況流量和質(zhì)量流量

易度智能層流質(zhì)量流量計及控制器的核心優(yōu)勢

產(chǎn)品合集.jpg


3. 國產(chǎn)自研,!

易度智能是國內(nèi)第—家獲得層流壓差式CPA資質(zhì)批準證書的企業(yè),,也是有能力生產(chǎn)通用型層流質(zhì)量流量計的制造商。其產(chǎn)品補充了國內(nèi)市場的技術(shù)空白,,具備可平替進口設(shè)備的能力,。

4. 高精度與高穩(wěn)定性

量程范圍廣:高精型產(chǎn)品覆蓋0.1sccm5000slpm的量程需求,適應(yīng)多樣化的工況場景,。

測控精度:高精型產(chǎn)品測量誤差控制在±0.5%讀數(shù)精度以內(nèi),,重復(fù)性達到±0.1%,在行業(yè)中處于上游水平。

溫度壓力補償:內(nèi)置溫度傳感器和壓力傳感器,,通過實時修正,,保證不同環(huán)境條件下的精確測量。

5. 嚴苛的質(zhì)量保障

核心部件自主研發(fā):所有關(guān)鍵組件均為自主設(shè)計與制造,,確保質(zhì)量可控,,可根據(jù)需求靈活定制產(chǎn)品

疲勞與耐久測試:每款產(chǎn)品需通過數(shù)千萬次疲勞測試,,確保長期穩(wěn)定運行,。

廣泛氣體兼容性:內(nèi)置70+種氣體及混合氣體數(shù)據(jù)庫,用戶可根據(jù)工藝需求快速適配多種氣體,,開機即測,,無需轉(zhuǎn)換系數(shù)。

基于層流壓差原理的氣體流量控制器以其高精度,、快速響應(yīng)和可靠性在工業(yè)領(lǐng)域中占據(jù)重要地位,。易度智能以國產(chǎn)自研,超高技術(shù)和高可靠性產(chǎn)品,,為更多行業(yè)提供了可靠的解決方案,。


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