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    氣體微流量測量與控制一直以來是制造業(yè)的重要核心技術(shù)之一，而這一核心技術(shù)領(lǐng)域的核心傳感器和控制零部件就是今天我們要集中討論的氣體質(zhì)量流量計與氣體質(zhì)量流量控制器,。

      當(dāng)然顧名思義是用來測量和控制氣體流量的。這里的氣體并不是指家里的天然氣,，或者傳統(tǒng)能源與化工企業(yè),、發(fā)電廠等的用的氣體,，這些場景下測量與控制的氣體流量與對應(yīng)的管徑一般相對較大，氣體流量大多在15m3/小時以上 ,，而對應(yīng)的管徑從直徑15mm到3000mm不等（甚至更大）,。

我們這里討論的氣體質(zhì)量流量計與氣體質(zhì)量流量控制器指的是適用于小微流量（從0.000001m3/小時到300m3/小時，對應(yīng)管徑從直徑3mm到65mm）氣體測量和控制的傳感器和設(shè)備,，它要求體積非常?。ㄒ话闳缡终拼笮。?，測量和控制非常精細(xì)（重復(fù)性精度優(yōu)于千分之二,，并需要承受環(huán)境溫度和壓力以及不同氣體工作介質(zhì)造成的影響），目前滿足上述要求的氣體質(zhì)量流量計與氣體質(zhì)量流量控制器主要有兩種原理的產(chǎn)品,，分別為：

1,、層流原理的氣體質(zhì)量流量計與控制器；

2,、熱式原理的氣體質(zhì)量流量計與控制器,。

行業(yè)中的流量計/控制器

這個問題我想著重講一講,。幾乎你能想到的所有高科技行業(yè)或制造業(yè),，只要需要氣體精密測控的地方，都有它們的存在,。由于篇幅有限,，我先大致說一下再舉幾個例子。這些我們生活中常常使用的產(chǎn)品都有他們的身影,，例如手機(jī)、電腦,、手環(huán),、AR/VR、電視,、汽車,、藥、啤酒,、空調(diào),、手表、燃?xì)庠?、電池,、珠寶首飾等等?/p>

在生活中不常遇到的但是很前沿的科技領(lǐng)域也有它們的用武之地。例如衛(wèi)星制造,、石墨烯生產(chǎn),、人造鉆石（鉆戒級）,、核電站、核聚變反應(yīng)堆,、光導(dǎo)纖維,、量子計算機(jī)、芯片制造,、抗癌藥物與基因藥物,、呼吸機(jī)與麻醉機(jī)、環(huán)境在線監(jiān)測系統(tǒng),、大氣污染防治設(shè)備,、電動汽車、燃料電池,、太陽能電池板生產(chǎn)等等,。

那這么多領(lǐng)域和產(chǎn)品中都有它們的身影，能否讓我們更具體一點(diǎn)了解下到底用在哪里,？守一哥花了大量的功課時間,，請教了大量的專業(yè)人士，先通過兩個例子,，讓我們一窺究竟,。

我們以被戲稱為“人體器官"的手機(jī)來說吧。先看手機(jī)的外殼,，手機(jī)外殼一般都比較細(xì)膩光滑且耐磨硬度高,，這個表面是如何做出來的？具體工藝過程很復(fù)雜這里就不贅述,，但最關(guān)鍵的一道工藝需要在一種叫做真空鍍膜機(jī)的設(shè)備內(nèi)完成,，是在真空環(huán)境下通入電離氣體和工藝氣體，利用電離后的等離子體與靶材撞擊,，從微觀尺度上給我們手機(jī)殼鍍上了一層特殊的薄膜,，正是這層保護(hù)膜使得我們的手機(jī)有了爽滑的質(zhì)感和耐磨的性能。而這個真空鍍膜機(jī)內(nèi)就大量配備了氣體質(zhì)量流量控制器,，用于精細(xì)的控制進(jìn)入真空鍍膜機(jī)內(nèi)電離氣體和工藝氣體的量,，大致流量在500SCCM。

手機(jī)殼的第二個重要功能就是防水,，手機(jī)內(nèi)部有大量的電子元件,，防水性能尤為重要。早期的手機(jī)防水性能都不是太好,，一不小心就很容易進(jìn)水并損壞,。隨著迭代進(jìn)步，目前的智能機(jī)已具有很好的防水性能,。但怎么檢驗(yàn)防水性能是否達(dá)標(biāo)呢,？需要更加強(qiáng)大的氣密性檢測儀,。

蘋果公司的iPhone手機(jī)等就大量使用了CTS公司的氣密性檢測儀用于防水性測試，它的靈敏度高,，測試效率快,。CTS公司使用的這種流量型-氣密性檢測儀是一種相對于壓力和壓差式檢漏儀更先進(jìn)的檢測方式，其中的核心元件就是微流量的氣體質(zhì)量流量計（如上原理圖所示）,，流量范圍在0.001ml/min到2ml/min(或SCCM),。

這種先進(jìn)的氣密性檢測儀國內(nèi)還沒有可靠的供應(yīng)商，幾乎被兩家美國公司壟斷,，其核心原因之一就是全球范圍內(nèi)能生產(chǎn)這種高性能的微流量氣體質(zhì)量流量計少之又少,。

iPhone8上市前，蘋果公司CEO庫克親赴美國俄亥俄州辛辛那提市CTS總部感謝他們的氣密性檢測儀,，有力保證了蘋果公司的產(chǎn)品質(zhì)量,，可足見其重要性！