客戶在使用易度微流量的流量計(jì)時(shí)反饋了一些問(wèn)題：明明氣源已經(jīng)關(guān)閉了,，流量計(jì)仍然有讀數(shù),；在做氣密性測(cè)試時(shí)旁路充氣關(guān)閉后讀數(shù)長(zhǎng)時(shí)間不能穩(wěn)定下來(lái)。為什么會(huì)出現(xiàn)這種情況呢,？
易度標(biāo)準(zhǔn)款流量計(jì)最小量有滿量程0.5SCCM的流量計(jì),，最小可以測(cè)到0.005SCCM的流量，甚至還能定制更小流量的型號(hào),。這樣精密的儀器有時(shí)候在系統(tǒng)中的表現(xiàn)并不是很好,，很大一部分原因就是沒(méi)有充分考慮容積效應(yīng)帶來(lái)的影響。
什么是容積效應(yīng),？
我們都知道氣體是熱脹冷縮的,。一定量的氣體，溫度變化后,，隨之也會(huì)引起壓力或者體積的變化,，這就是容積效應(yīng)（也叫容升效應(yīng)）。一般情況下,，這并不會(huì)給氣體測(cè)量帶來(lái)什么影響,，而且易度流量計(jì)本身就集成有高靈敏的溫度傳感器，可以通過(guò)溫度補(bǔ)償獲得準(zhǔn)確的標(biāo)況流量,，但是在測(cè)極小流量的時(shí)候,，氣體容積效應(yīng)的影響就被放大了。
假如一臺(tái)0.5SCCM的流量計(jì)后端管路內(nèi)徑是6mm,，長(zhǎng)度1m,，那么這段管路容積大約有113mL,假如整個(gè)系統(tǒng)處于標(biāo)況下（101.325kPa、25℃）,，此時(shí)后端管路溫度下降0.1℃,，根據(jù)理想氣體狀態(tài)方程，壓力會(huì)變成101.291kPa,，流量計(jì)要達(dá)到前后端壓力平衡需要流過(guò)0.038mL體積的氣體,，而此時(shí)前后壓差很小（不足40Pa）,，流量也會(huì)很小,，（大約0.005~0.01SCCM），流過(guò)0.038mL的氣體足足需要4~8分鐘,！而這僅僅是這段細(xì)小的管路溫度變化了0.1℃引起的,！
我們?cè)撛鯓訙p小容積效應(yīng)的影響呢,？
如果客戶選擇小微流量的流量計(jì)，說(shuō)明測(cè)量的流量基本上就是微升量級(jí)的,，對(duì)系統(tǒng)的要求也就很高了,。一是相應(yīng)的管路設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)也得提高，盡量使管路更細(xì)更短,、減少閥件數(shù)量,，使管路容積更小,；二是氣源要穩(wěn)定,，對(duì)于小微流量的流量計(jì)來(lái)說(shuō)，氣源的少許波動(dòng)就會(huì)引起流量很大的變化,；三是環(huán)境溫度盡量保持恒定,，通過(guò)封閉、隔離,、水浴等方式減小系統(tǒng)溫度變化,。
話說(shuō)，一段細(xì)小的管路溫度變化0.1℃是個(gè)什么概念呢,？嗯…大約就是你的身體靠近管路（不接觸）一會(huì)兒就能引起的,。
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