客戶在使用易度氣體流量控制器（MFC）時(shí)反映有這樣的問題：剛通氣時(shí)流量會(huì)瞬間達(dá)到可測(cè)量的最大值并顯示告警信息,，然后又迅速穩(wěn)定到設(shè)定值,，客戶覺得易度MFC有很嚴(yán)重的超調(diào)過沖問題。經(jīng)過與客戶詳細(xì)交流后發(fā)現(xiàn),，客戶是先將MFC設(shè)定流量,，再開啟截止閥給管路通氣,。MFC在使用過程中到底應(yīng)該先通氣還是先設(shè)流量呢,？
圖：常見MFC連接方式
我們先來看MFC的工作原理。
MFC通過流量測(cè)量部分測(cè)量氣體流量,，并根據(jù)測(cè)量值發(fā)出反饋信號(hào)調(diào)節(jié)閥門開口大小,，達(dá)到控制流量的目的。當(dāng)測(cè)量的流量小于設(shè)定流量時(shí),，就會(huì)增加閥門開口度,，讓氣體流量增加，反之亦然,。
圖：MFC工作示意簡圖
了解了MFC的工作原理,，再來看客戶遇到的問題就容易理解了。
在不通氣的情況下,，將MFC設(shè)定流量后,，流量傳感器檢測(cè)流量為零，小于設(shè)定值,，于是微處理器發(fā)出信號(hào)將閥門開大,，再檢測(cè)流量，發(fā)現(xiàn)流量仍然是零,，仍然小于設(shè)定值,。微處理器只能繼續(xù)發(fā)出控制信號(hào)直到將閥門開到最大并保持這個(gè)狀態(tài)。這時(shí)打開截止閥,，氣體瞬間開始流動(dòng)起來,，而此時(shí)閥門開到了最大，氣體就會(huì)以一個(gè)很大的流量值流過MFC,。MFC檢測(cè)到流量超過了設(shè)定值,，于是控制閥門開口度減小，將實(shí)際流量穩(wěn)定在設(shè)定值,。這就是先設(shè)流量再通氣時(shí)MFC的實(shí)際工作過程,。
這并不是MFC本身的問題，而是在使用MFC時(shí)的操作順序問題。正確的操作順序是先通氣,，再設(shè)流量,。
先通氣時(shí)，由于易度MFC是自主研發(fā)的閥門,，具有截止能力,，能夠?qū)㈤y門關(guān)閉，因此并不會(huì)有流量產(chǎn)生,。這時(shí)設(shè)定流量,，MFC打開閥門，將流量從零迅速調(diào)整到設(shè)定值,，達(dá)到精確控制流量的目的,。
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