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1： 流量術(shù)語(yǔ)

體積流量：也叫工況流量，即單位時(shí)間內(nèi)實(shí)時(shí)溫度和壓力下流體流過管道橫截面的體積,。小流量的代表單位一般為：ml/min和L/min,。

標(biāo)況流量：通過溫度、壓力補(bǔ)償后得到的體積流量,。標(biāo)況一般定義（1）壓力：1個(gè)大氣壓（101.325KPa）（2）溫度：0℃/15℃/20℃/25℃,，具體溫度定義可自選。易度流量控制器默認(rèn)(25℃,101.325KPa),，單位一般為：SCCM和SLPM ,。

質(zhì)量流量：?jiǎn)挝粫r(shí)間內(nèi)流體流過管道橫截面的質(zhì)量 。易度質(zhì)量流量控制器測(cè)量出的是標(biāo)況流量,，需要計(jì)算氣體實(shí)際質(zhì)量時(shí),，可用密度乘以標(biāo)況流量即可得出。

瞬時(shí)流量：當(dāng)時(shí)間很短時(shí),，流體流過一定截面的量稱為瞬時(shí)流量,。                                                

累計(jì)流量：氣體通過某一截面的瞬時(shí)流量在一定時(shí)間內(nèi)的累積值。

設(shè)定流量：質(zhì)量流量控制器專用術(shù)語(yǔ),，MFC通過控制比例調(diào)節(jié)閥的開度使得流體流量穩(wěn)定在某一固定流量值,，設(shè)定流量一般為標(biāo)況流量。

2 ：工況術(shù)語(yǔ)

工作溫度：包括被測(cè)介質(zhì)溫度和使用環(huán)境溫度,。易度質(zhì)量流量控制器適用溫度范圍為：-50℃到110℃（介質(zhì)）,。

工作壓力：指流經(jīng)質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器時(shí)，被測(cè)氣體的絕對(duì)靜壓,。易度質(zhì)量流量控制器適用工作壓力一般為1MPa以下,，最大不能超過3MPa。壓力單位一般為：MPa,、KPa,、

Pa、Psi,，易度產(chǎn)品可自如切換,。

耐壓：質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器在不損壞的情況下所能承受的最大壓力,，易度質(zhì)量流量控制器一般可承受的壓力為1MPa,最大2.5MPa。

壓差：氣體流經(jīng)管路高壓端與低壓端的壓強(qiáng)差,。

壓損：氣體流經(jīng)質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器而產(chǎn)生的不可恢復(fù)的壓力降,。易度質(zhì)量流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)壓損為4KPa,最小可達(dá)400Pa。

預(yù)熱時(shí)間：主要針對(duì)熱式質(zhì)量流量控制器,，是指加熱金屬絲達(dá)到溫度穩(wěn)定的時(shí)間,。易度質(zhì)量流量控制器無(wú)需預(yù)熱，可直接使用,。

通訊方式：質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器與配套設(shè)備控制系統(tǒng)之間的通訊,，常用的有模擬信號(hào)和數(shù)字信號(hào)。易度質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器通訊方式可選：模擬信號(hào)(4-20)mA,、(0-5)V,，數(shù)字信號(hào)RS485、Profibus等,。

管路連接：質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器與管路的連接方式,，根據(jù)管路材質(zhì)（軟管、金屬硬管等）和管路內(nèi)外徑尺寸,，可選卡套接頭,、VCR接頭、快插接頭,、快擰接頭等,。

介質(zhì)：被測(cè)氣體的種類，易度質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器可測(cè)量單一純凈氣體,，或明確氣體種類和比例的混合氣體,。若為強(qiáng)腐蝕氣體，建議選用耐腐蝕型號(hào),。若為易燃易爆氣體,，建議選用防爆型號(hào)。

3： 性能術(shù)語(yǔ)

量程：質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器可測(cè)得的最大流量,，易度質(zhì)量流量控制器量程范圍：從0.5sccm到5000slpm。

量程比：質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器能夠測(cè)量控制的最大流量和最小流量比值,，易度質(zhì)量流量控制器標(biāo)準(zhǔn)型量程比為100:1,，也可定制更寬量程比。

精度：質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器測(cè)得的標(biāo)況流量顯示值與標(biāo)準(zhǔn)裝置流量值的誤差比,。易度質(zhì)量流量控制器的精度為±1%S.P(設(shè)定值精度）,，最高可達(dá)±0.5%S.P(設(shè)定值精度）。

精度保證范圍：保證質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器精度的氣體流量范圍,，易度質(zhì)量流量控制器標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)為：20%-100%F.S（滿量程）,，寬量程型可達(dá)10%-100%F.S（滿量程）,。

重復(fù)性：在同一工作條件下，質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器對(duì)同一輸入值按同一方向連續(xù)多次測(cè)量的輸出之間的相互一致程度,，也叫重復(fù)性誤差,，易度質(zhì)量流量控制器重復(fù)性可達(dá)±0.2%/F.S(滿量程）。

可靠性：質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器在一定時(shí)間內(nèi),、在一定條件下地執(zhí)行功能的能力或可能性,。

響應(yīng)時(shí)間：質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器接通電源后至其達(dá)到規(guī)定性能指標(biāo)所需的時(shí)間，易度質(zhì)量流量控制器具有毫秒級(jí)響應(yīng)速度,。

抗電磁干擾：電磁干擾是干擾電纜信號(hào)并降低信號(hào)完好性的現(xiàn)象,，會(huì)造成流量計(jì)精度損失，特別是射頻電源對(duì)模擬信號(hào)的干擾現(xiàn)象尤為明顯,，易度質(zhì)量流量控制器抗電磁干擾能力強(qiáng),，經(jīng)西安高壓電器研究所抗電磁干擾檢測(cè)認(rèn)證。