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紫外臭氧清洗機(jī)（UVO）,，是一種簡單，經(jīng)濟(jì),，快速高效的材料表面清洗設(shè)備,，能快速去除大多數(shù)無機(jī)基材（比如石英，硅片,，金,，鎳，鋁,，砷化鎵,，氧化鋁等）上的有機(jī)污染物。

MCGILL紫外臭氧清洗機(jī)采用長壽命UV石英低壓汞蒸汽格柵燈,，樣品臺高度可調(diào)并可選加熱控溫,，以便達(dá)到最佳清洗效果。

產(chǎn)品特點(diǎn)

u 采用5寸彩色觸摸屏設(shè)置顯示計(jì)時(shí)時(shí)間及加熱溫度,。

u 自動(dòng)補(bǔ)償功能,，自動(dòng)恒定光強(qiáng)光密度，不會(huì)因?yàn)榈蛪汗療衾匣鈴?qiáng)衰減影響清洗效果,。

u 數(shù)字倒計(jì)時(shí)顯示清洗時(shí)間,，1-999分鐘之間可自行設(shè)置清洗時(shí)間。

u 任何時(shí)間可以手動(dòng)中斷處理過程,。

u 自動(dòng)記錄之前清洗參數(shù)設(shè)置,。

u 樣品臺可控溫（可選），控溫范圍RT-260℃,，控溫精度0.1℃,。

u 抽屜式開關(guān)蓋方式，操作簡單方便,。

u UV石英低壓汞蒸汽格柵燈,，燈管壽命大約為8000小時(shí)。

u 高強(qiáng)度UV燈源，波長185nm和254nm,。

u 可累計(jì)計(jì)時(shí)UV格柵燈使用時(shí)長,，更換提示。

u UV反射罩（長X寬）比UV格柵燈大2.5cm,，比如規(guī)格為13x13cm格柵燈反射罩尺寸大于15×15cm,。

u 雙重安全保護(hù)，帶有安全鎖,，當(dāng)清洗腔打開時(shí),，系統(tǒng)自動(dòng)關(guān)掉UV燈，并有燈光通斷提示,。

u 帶進(jìn)&出氣口雙氣路設(shè)計(jì),。

u 可接入氧氣或者臭氧，增加臭氧產(chǎn)量,。

u UVO5可選外置臭氧中和器,，用于臭氧清除。

u 可根據(jù)客戶要求定制鋁或石英材料真空反應(yīng)腔,。

技術(shù)參數(shù)

注：UVO型基礎(chǔ)型樣品臺不帶加熱功能,；UVOT標(biāo)配樣品臺加熱功能。