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產(chǎn)品簡介
掃描電鏡等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程等離子清洗源設(shè)計(jì),，清洗快速高效，低轟擊損傷,，主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑础?
詳細(xì)介紹
MCGILL掃描電鏡等離子清洗機(jī)
MCGILL 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程等離子清洗源設(shè)計(jì),，清洗快速高效，低轟擊損傷,，主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑础?/span>
產(chǎn)品特點(diǎn)
u 遠(yuǎn)程等離子體清洗源
u 一機(jī)多用
u 高效低損傷
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào) | MCGL-SEM |
法蘭接口 | KF40（CF40） |
工作氣壓 | 0.3-3Pa |
等離子電源 | 13.56MHz射頻電源,，射頻功率5-150W可調(diào)， |
遠(yuǎn)程等離子源,，自動(dòng)匹配器 | |
氣體控制 | 標(biāo)配單路質(zhì)量流量計(jì)（MFC）可選雙路,。50毫升/分，自動(dòng)控制氣體流量,，不會(huì)受環(huán)境溫度和壓力變化影響 |
氣源選擇 | 根據(jù)需求氧氣,、氬氣、氮?dú)?、氫氣等多種清洗氣源選擇 |
真空控制 | 美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計(jì),，測量范圍1E-5Torr |
真空保證 | 真空計(jì)和電磁閥安全互鎖 |
操控方式 | 7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動(dòng)操作界面 |
電源/功率 | 220V,，50/60Hz,，300W |
可選配件 | 可選氧氣、氮?dú)?、氫氣發(fā)生器,， 氫氣純度﹥99.999％，輸出流量0-300ml/min |
質(zhì)量保證 | 二年質(zhì)保,，終身維護(hù) |