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記住了！通過這些操作能獲得清晰的sem掃描電鏡照片
閱讀：3565 發(fā)布時(shí)間：2022-7-22
sem掃描電鏡的成像原理不同于光學(xué)顯微鏡和透射電子顯微鏡,。它以電子束為照明源,，將非常精細(xì)聚焦的電子束以光柵掃描的方式照射到樣品上，并通過電子與樣品相互作用,。然后將產(chǎn)生的二次電子,、背散射電子等收集并處理，以獲得微觀形貌的放大圖像,。
為了獲得清晰的sem掃描電鏡照片,，必須能夠執(zhí)行基本的電子顯微鏡操作并優(yōu)化各種樣品的工作條件?；静僮靼ㄊ炀氄{(diào)整焦距和散光,。對(duì)焦相對(duì)容易，改變焦距直到圖像最清晰的那一刻,。散焦較多時(shí)可使用較高的感光度,，對(duì)焦點(diǎn)附近可降低感光度以進(jìn)行精確對(duì)焦。
在基本操作中消除散光是比較麻煩的,，尤其是散光較大的時(shí)候,，很多初學(xué)者都很難調(diào)整。然而,，散光的產(chǎn)生之前已經(jīng)介紹過了,。由于電子束不再是圓形的，如果不消除散光,，圖像就不清楚,。然而，在光學(xué)中有兩個(gè)特殊位置,，子午線和矢狀線,，其中光束點(diǎn)*正交，清晰的圓圈一般在矢狀和子午線的中間,。
所以反映在圖像中,，當(dāng)改變焦距時(shí)，會(huì)出現(xiàn)兩個(gè)嚴(yán)重的拉伸，而且拉伸方向可能因樣品而異,，但這兩個(gè)拉伸方向必須是正交的,。因此，此時(shí)將焦距調(diào)整到兩個(gè)拉伸狀態(tài)的中間位置,，焦距基本固定,。然后在這個(gè)焦距，調(diào)整散光線圈,，先調(diào)整X或Y的一個(gè)維度,，等圖像清晰后再調(diào)整另一個(gè)維度。
拉伸方向不難判斷,。樣品中的各種特征點(diǎn)都可以作為判斷的依據(jù),，比如孔洞或顆粒，或者樣品的邊緣,，都可以很容易地判斷出來,。特別是在散光比較大的情況下，焦距和散光這兩個(gè)維度不能亂調(diào)整,，以免散光過大而*無法判斷。