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淺述sem電子掃描電鏡樣品制備的要求

閱讀:2807        發(fā)布時間:2022-5-25
  sem電子掃描電鏡的工作原理是用一束極細的電子束掃描樣品,,在樣品表面激發(fā)出次級電子,次級電子的多少與電子束入射角有關,,也就是說與樣品的表面結構有關,,次級電子由探測體收集,并在那里被閃爍器轉變?yōu)楣庑盘?,再經光電倍增管和放大器轉變?yōu)殡娦盘杹砜刂茻晒馄辽想娮邮膹姸?,顯示出與電子束同步的掃描圖像。
 
  今天咱們來了解下sem電子掃描電鏡樣品制備的要求:
 
  1,、塊狀樣品的制備
 
  對于塊狀導電樣品,,基本上不需要進行什么制備,只要其大小適合電鏡樣品底座尺寸大小,,即可直接用導電膠帶把樣品黏結在樣品底座上,,放到掃描電鏡中觀察,,為防止假象的存在,在放試樣前應先將試樣用丙酮或酒精等進行清洗,,必要時用超聲波清洗器進行清洗,。對于塊狀的非導電樣品或導電性較差的樣品,要先進行鍍膜處理,,否則,,樣品的表面會在高強度電子束作用下產生電荷堆積,影響入射電子束斑和樣品發(fā)射的二次電子運動軌跡,,使圖像質量下降,,因此這類樣品要在觀察前進行噴鍍導電層的處理,在材料表面形成一層導電膜,,避免樣品表面的電荷積累,,提高圖象質量,并可防止樣品的熱損傷,。
 
  2,、粉末樣品的制備
 
  對于導電的粉末樣品,應先將導電膠帶黏結在樣品座上,,再均勻地把粉末樣撒在上面,,用洗耳球吹去未黏住的粉末,即可用電鏡觀察,。對不導電或導電性能差的,,要再鍍上一層導電膜,方可用電鏡觀察,。為了加快測試速度,,一個樣品座上可以同時制備多個樣品,但在用洗耳球吹未黏住的粉末時,,應注意不要樣品之間相互污染,。
 
  對于粉末樣品的制備應注意以下幾點:
 
  (1)盡可能不要擠壓樣品,,以保持其自然形貌狀態(tài),。
 
  (2)特細且量少的樣品,,可以放于乙醇或者合適的溶劑中用超聲波分散一下,,再用毛細管滴加到樣品臺上的導電膠帶上(也可用牙簽點一滴到樣品臺上),晾干或強光下烘干即開,。
 
 ?。?)粉末樣品的厚度要均勻,表面要平整,,且量不要太多,,1g左右即可,,否則容易導致粉末在觀察時剝離表面,,或者容易造成噴金的樣品的底層部分導電性能不佳,,致使觀察效果的對比度差。

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