了解了臺(tái)式電子顯微鏡的工作原理才能更好的使用它
閱讀:2713 發(fā)布時(shí)間:2022-3-25
臺(tái)式電子顯微鏡普及以來(lái),,人們一直渴望實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化,。研究人員通過(guò)在微觀層面研究樣品需要人工重復(fù)的步驟,可以尋找替代方案來(lái)努力提高這些過(guò)程的效率,。隨著技術(shù)的不斷成熟,,人們對(duì)其要求也越來(lái)越復(fù)雜,,比如增加更復(fù)雜的圖像處理算法,提高分析大量數(shù)據(jù)的能力等,。經(jīng)過(guò)調(diào)查發(fā)現(xiàn),,人們對(duì)于自動(dòng)化的期待主要有3個(gè):消除人為誤差,節(jié)省時(shí)間和成本,,在海量數(shù)據(jù)中快速找到目標(biāo),。
臺(tái)式電子顯微鏡采用二次電子和背散射電子兩種探測(cè)器。同時(shí)配備4個(gè)可選光闌(30,、50、100,、200um),,通過(guò)改變電子束大小可提供高分辨率圖像。除能檢測(cè)二次電子圖像以外,,還能檢測(cè)背散射電子,、透射電子、特征x射線,、陰極發(fā)光等信號(hào)圖像,。其成像原理與二次電子像相同,在進(jìn)行觀察前,,要對(duì)樣品作相應(yīng)的處理,。
它與電視一樣是由控制電子束偏轉(zhuǎn)的電子系統(tǒng)來(lái)完成的,只是在結(jié)構(gòu)和部件上稍有差異而已,,在電子掃描中,,把電子束從左到右方向的掃描運(yùn)動(dòng)叫做行掃描或稱作水平掃描,把電子束從上到下方向的掃描運(yùn)動(dòng)叫做幀掃描或稱作垂直掃描,,兩者的掃描速度*不同,,行掃描的速度比幀掃描的速度快,對(duì)于1000條線的掃描圖象來(lái)說(shuō),,速度比為1000,。
臺(tái)式電子顯微鏡是掃描電鏡能譜行業(yè)的一個(gè)里程碑,亮度10倍于鎢燈絲的燈絲,,不僅成為分辨率高的儀器,,同時(shí)也使X射線能譜儀提供更加準(zhǔn)確、快速的元素分析,。
其背散射圖像從視覺上用不同的灰度呈現(xiàn)不同的元素,,進(jìn)一步利用X射線探測(cè)器,就能輕松確認(rèn)不同灰度區(qū)域元素的名稱和含量,,提供5-95號(hào)元素的點(diǎn)掃描,,線掃描和面掃描三種分析模式,。用戶通過(guò)一個(gè)界面就可以操控兩項(xiàng)功能,圖形化的設(shè)計(jì),,使操作變得的簡(jiǎn)單,,點(diǎn)擊感興趣的區(qū)域,在數(shù)秒內(nèi)既可以得到微觀形貌信息,,同時(shí)得到該區(qū)域的表面元素分布信息,。