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產(chǎn)品簡介
工藝氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計,。結(jié)合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,，擴散器專用過濾器過濾精度可達(dá)0.003μm。全316L不銹鋼結(jié)構(gòu),，不僅確保高效過濾,，更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生，對工藝室環(huán)境造成影響,，有效防止氣流吹起顆?；蛘叽灯鸸杵,？啥ㄖ苹O(shè)計,，靈活適應(yīng)各類安裝空間。
詳細(xì)介紹
用于半導(dǎo)體應(yīng)用的高純半導(dǎo)體工藝氣體過濾器
產(chǎn)品介紹
工藝氣體專用過濾器,，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計,。結(jié)合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，擴散器專用過濾器過濾精度可達(dá)0.003μm,。全316L不銹鋼結(jié)構(gòu),，不僅確保高效過濾,，更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生，對工藝室環(huán)境造成影響,，有效防止氣流吹起顆?；蛘叽灯鸸杵,？啥ㄖ苹O(shè)計,，靈活適應(yīng)各類安裝空間。
產(chǎn)品特點
?不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì),，可快速排氣
?整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)
?減少工藝腔體排氣時的湍流
?適用于多種工藝氣體
?潔凈室環(huán)境內(nèi)制造,、測試、包裝
?100%完整性測試通過
?100%氦氣泄露檢測通過
?耐高溫,、耐高壓,、耐腐蝕
?防止微粒混入,，幫助提高產(chǎn)品合格率
?可根據(jù)安裝空間進(jìn)行設(shè)計
