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產(chǎn)品介紹

OF系列在線式專用氣體過濾器，專為高流量電子級氣體超純凈化設(shè)計,，過濾精度高達0.003μm。其結(jié)構(gòu)緊湊,、強度高,，與多種半導體工藝氣體兼容，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體,。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼,，確保與多數(shù)高純度半導體工藝氣體的兼容性。它適用于大流量特種氣體供應及超高純度氣棒,，在半導體,、LED、光伏及MEMS設(shè)備連接中提供超高純度過濾,，滿足閥歧管箱,、氣柜等工藝需求。

產(chǎn)品特點

?不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì),，可快速排氣

?整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

?減少工藝腔體排氣時的湍流

?適用于多種工藝氣體

?潔凈室環(huán)境內(nèi)制造,、測試、包裝

?100%完整性測試通過

?100%氦氣泄露檢測通過

?耐高溫,、耐高壓,、耐腐蝕

?防止微粒混入,，幫助提高產(chǎn)品合格率

?可根據(jù)安裝空間進行設(shè)計