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產(chǎn)品介紹

OF系列在線式專用氣體過(guò)濾器,，專為高流量電子級(jí)氣體超純凈化設(shè)計(jì)，過(guò)濾精度高達(dá)0.003μm,。其結(jié)構(gòu)緊湊,、強(qiáng)度高，與多種半導(dǎo)體工藝氣體兼容,，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體,。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼，確保與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容性,。它適用于大流量特種氣體供應(yīng)及超高純度氣棒,，在半導(dǎo)體、LED,、光伏及MEMS設(shè)備連接中提供超高純度過(guò)濾,，滿足閥歧管箱、氣柜等工藝需求,。

產(chǎn)品特點(diǎn)

?不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì),，可快速排氣

?整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

?減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流

?適用于多種工藝氣體

?潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測(cè)試,、包裝

?100%完整性測(cè)試通過(guò)

?100%氦氣泄露檢測(cè)通過(guò)

?耐高溫,、耐高壓、耐腐蝕

?防止微?；烊?，幫助提高產(chǎn)品合格率

?可根據(jù)安裝空間進(jìn)行設(shè)計(jì)