墊圈式設計確保易于安裝,,使其成為 MFC(質量流量控制器)模塊、精密閥門和壓力調(diào)節(jié)器的重要保護屏障。
多孔金屬墊片過濾器能夠承受高達 400°C 的溫度,,有效阻止顆粒侵入,保護敏感氣體成分,。
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
用于半導體應用的多孔金屬墊片過濾器
保護精密氣體系統(tǒng)的可靠解決方案:
1) 這款全金屬過濾器專為半導體氣體分配系統(tǒng)設計,,可與 1/4“、3/8" 和 1/2“ VCR 標準墊圈接口無縫兼容,。
2) 墊圈式設計確保易于安裝,,使其成為 MFC(質量流量控制器)模塊、精密閥門和壓力調(diào)節(jié)器的重要保護屏障。
3) 多孔金屬墊片過濾器能夠承受高達 400°C 的溫度,,有效阻止顆粒侵入,,保護敏感氣體成分。
4) 通過防止與污染相關的泄漏,,延長設備使用壽命并降低維護成本,。
5) 該過濾器提供低壓和高壓兩種型號,可改裝到現(xiàn)有的管道系統(tǒng)中,,為保護精密設備免受污染提供經(jīng)濟高效的解決方案,。