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產(chǎn)品介紹

用于半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)，兼容C型和W型多種密封規(guī)格,，實現(xiàn)0.003μm級高效顆粒過濾,，保障9-LRV清潔度。支持高達100slpm的大流量,，適助力設(shè)備升級無憂,。全316L不銹鋼構(gòu)造，堅固耐用,，緊湊體型融合全焊接與機械密封技術(shù),。采用符合SEMI標(biāo)準的表面安裝元件,，便于系統(tǒng)集成與模塊化設(shè)計升級，安裝維護便捷高效

產(chǎn)品特點

?不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì),，可快速排氣

?整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

?減少工藝腔體排氣時的湍流

?適用于多種工藝氣體

?潔凈室環(huán)境內(nèi)制造,、測試、包裝

?100%完整性測試通過

?100%氦氣泄露檢測通過

?耐高溫,、耐高壓,、耐腐蝕

?防止微粒混入,，幫助提高產(chǎn)品合格率

?可根據(jù)安裝空間進行設(shè)計