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產(chǎn)品簡介
IGS面板氣體過濾器,，專為高流量電子級氣體超純凈化設(shè)計,，過濾精度高達0.003μm。其結(jié)構(gòu)緊湊,、強度高,，與多種半導(dǎo)體工藝氣體兼容，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體,。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼,，確保與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容性。它適用于大流量特種氣體供應(yīng)及超高純度氣棒,，在半導(dǎo)體,、LED、光伏及MEMS設(shè)備連接中提供超高純度過濾,，滿足閥歧管箱,、氣柜等工藝需求。
詳細介紹
用于半導(dǎo)體應(yīng)用IGS面板專用過濾器
產(chǎn)品介紹
IGS面板專用過濾器,，用于半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng),，兼容C型和W型多種密封規(guī) 格，實現(xiàn)0.003μm級高效顆粒過濾,，保障9-LRV清潔度,。支持高達100slpm的大流量，適助力設(shè)備升 級無憂,。全316L不銹鋼構(gòu)造,，堅固耐用，緊湊體型融合全焊接與機械密封技術(shù),。采用符合SEMI標準的 表面安裝元件,，便于系統(tǒng)集成與模塊化設(shè)計升級，安裝維護便捷高效,。
產(chǎn)品特點
?不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì),，可快速排氣
?整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)
?減少工藝腔體排氣時的湍流
?適用于多種工藝氣體
?潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試,、包裝
?100%完整性測試通過
?100%氦氣泄露檢測通過
?耐高溫,、耐高壓、耐腐蝕
?防止微?；烊?，幫助提高產(chǎn)品合格率
?可根據(jù)安裝空間進行設(shè)計
