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恒歌超純氣流微粒工藝一體式過濾器
  • 恒歌超純氣流微粒工藝一體式過濾器

貨物所在地:廣東深圳市

地: 深圳

更新時間:2024-11-13 17:04:45

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工藝氣體專用過濾器,,專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm,。全316L不銹鋼結構,不僅確保高效過濾,,更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生,,對工藝室環(huán)境造成影響,有效防止氣流吹起顆?;蛘叽灯鸸杵?。可定制化設計,靈活適應各類安裝空間,。


用于半導體應用的高純半導體工藝氣體過濾器

產(chǎn)品介紹

工藝氣體專用過濾器,,專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,,擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm,。全316L不銹鋼結構,不僅確保高效過濾,,更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生,,對工藝室環(huán)境造成影響,有效防止氣流吹起顆?;蛘叽灯鸸杵?。可定制化設計,,靈活適應各類安裝空間,。

產(chǎn)品特點

?不銹鋼粉末燒結介質,可快速排氣

?整體316L不銹鋼結構

?減少工藝腔體排氣時的湍流

?適用于多種工藝氣體

?潔凈室環(huán)境內制造,、測試,、包裝

?100%完整性測試通過

?100%氦氣泄露檢測通過

?耐高溫、耐高壓,、耐腐蝕

?防止微?;烊耄瑤椭岣弋a(chǎn)品合格率

?可根據(jù)安裝空間進行設計








恒歌超純氣流微粒工藝一體式過濾器

















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